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??? ??? ?????? 352? B108(201199)
상해이풍정밀기기유한공사
??? ??? ?????? 352? B108(201199)
| 평가 매개변수 | |
| 평가 매개변수 | Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2 |
| 측정 범위 | |
| Z축 | 800μm |
| X축 | 50mm |
| 직선도 정밀도 | |
| 직선도 정밀도 | 0.4μm |
| 해상도 (Z축) | |
| 해상도(Z축) | 0.001μm |
| 샘플링 수/분해 에너지 | |
| 샘플링 수 / 분해 에너지 | 9600 / 16bit |
| 필터 | |
| 필터 | 가우스 (Gaussian) 필터(ISO11562:1996), 2RC 필터 |
| 샘플링 길이 | |
| 샘플링 길이 | λc ╳3、4、5、6、7(1.0-17.5mm) |
| 마감 파장 | |
| 마감 파장 | 0.25,0.8,2.5 |
| 속도 측정 | |
| 속도 측정 | 0.1mm/s,0.32mm/s,0.5mm/s |
| 반환 속도 | |
| 반환 속도 | (자동) 1mm/s |
| 표시 오차 | |
| 표시 오차 | ±5% |
| 표시 안정성 | |
| 표시 안정성 | 3% |
| 반복성 측정 | |
| 반복성 측정 | 3% |
| 그래픽 배율 확대 | |
| 그래픽 배율 확대 | 10-50000 자동 조정 |
| 센서 | |
| 센서 | 핀팁 R=2 μm 다이아몬드(측정력 1mN) |
| R=5μm 다이아몬드(측정력 4mN) |
|