MKS Baratron®단일 압력 스위치

MKS Baratron®단일 압력 스위치 (41C는）

41C 싱글 엔드 10 - 26000 Torr 압력 스위치는 진공/압력 프로세스를 정확하고 안정적으로 보호합니다.이 스위치는 직류 신호 출력이 필요 없는 어플리케이션을 위해 설계되었으며 경보기, 밸브 실행기, 컴퓨터, 프로세스 컨트롤러, 로드 잠금 장치 및 기타 보호 장치에 쉽게 연결할 수 있는 릴레이 출력을 제공합니다.41C는 대기 압력을 참고한 것이다.트리거 지점은 현재 대기압에서 트리거하기 전에 높음, 낮음 (역방향 교정) 또는 트리거하도록 설정할 수 있습니다.

l대기 압력을 고려한 단일 구성

l우수한 설정점 정밀도와 낮은 대기

l전체 금속, 전체 용접 구조는 스테인리스강과Inconel®는내식성

l스위치 릴레이를 설정 지점보다 높거나 낮게 설정하여 고장 안전 조작을 실현할 수 있다

l높은 안정성으로 다운타임 감소

MKS Baratron®단일 압력 스위치 (41C는）

기술 사양

피쳐

Baratron® 용량 압력계 기술

커패시터 압력계는 기계 전기 압력계로 압력과 진공을 측정할 수 있다.커패시터 미터는 얇은 분리막의 압력 변조 운동을 압력에 비례하는 전기 신호로 변환합니다.압력센서는 입구관을 통해 측정된 압력이나 진공에 노출되는 얇은 분리막이다.전극은 격막 뒤의 참조 챔버에 설치됩니다.과정과 참고강 사이의 압력차는 격막을 경미하게 편전시켜 격막과 전극 사이의 거리를 변화시킨다.이 거리의 변화는 격막과 전극 사이의 커패시터 변화를 초래하여 압력 변화에 비례하는 전기 신호를 생성합니다.커패시터 신호의 차이는 기체 특성의 변화가 아닌 압력계 내의 물리적 변화로 발생하기 때문에 커패시터 압력계의 압력 측정은 측정된 기체의 성분과 무관하다.

참조 대기압

41 화42 진공/압력 스위치는 대기압을 참고한다.일반적으로 문을 열기 전에 로드 잠금 압력과 지역 대기 압력의 균형을 유지하는 데 사용됩니다.MKS는대기 스위치의 트리거 지점은 현재 대기 압력에서 트리거하기 위해 높음, 낮음 (역방향 교정) 또는 적절하게 트리거하도록 설정할 수 있습니다.

기본 점프 점

계전기 스위치 점퍼는 출하 시 전체 압력 범위의5%에100%. 즉, 사용자가 설정점을 조정할 필요가 없으며 잘못된 설정점으로 인해 보안 문제가 발생하지 않습니다.

고장 안전 계전기 조작

41、42、51 화52 스위치의 릴레이 모드는 설정점보다 높거나 낮을 때 전원을 켜도록 설정할 수 있습니다.기기의 전원이 꺼지면 릴레이가 닫힌 위치로 전환됩니다.닫힌 위치가 설정점보다 높은지 낮은지를 나타낼 수 있습니다.설정점보다 높은 통전을 례로 들면 압력이 스위치점보다 높을 때 계전기는 상시개방위치에 있고 압력이 스위치점보다 낮을 때 계전기는 상시폐쇄위치에 있다.대하여“설정점 미만의 전원 켜기”옵션, 정반대입니다.진공시스템에서 고장안전조작이란 시스템의 단전으로 계전기가 단전되면 계전기는 고압상태와 같은 상태에 처하게 된다.따라서 대부분의 진공 시스템은 계전기가 압력이 낮아지거나 설정점보다 낮을 때 전기를 켜야 한다.

41B、42B는、51B화52B진공 및 대기 압력 스위치는 기계형 스위치보다 더 높은 정밀도를 제공하여 더욱 엄격한 프로세스 제어 및 반복성을 제공하여 처리량과 생산량을 향상시킵니다.

9 바늘‘D’유형 핀 정렬

플라이 라인 연결