Leica DM3 XL 마이크로 전자 및 반도체용 검사 시스템

더 많은 세부 사항을 한눈에 보고 더 효율적으로 작업

더 많은 세부 사항을 보면 더 효율적으로 작업할 수 있습니다.DM3 XL은 6"에 도달한 대형 구성 요소를 빠르게 스캔할 수 있도록 고유한 매크로 대물렌즈를 제공합니다.

0.7x 증폭 배율을 이용하여 35.7mm의 시야를 즉시 채집할 수 있으며 다른 일반 스캐닝 물경보다 30% 넓다.

거시적물경하에서 결함은 숨길 곳이 없다.

• 수익률 향상
• 칩 가장자리나 중심 그림자가 부족한 영역을 안정적으로 감지
• 고르지 않은 레이디얼 필름 두께 측정

모든 안감 관찰 방법을 위한 LED

DM3 XL은 모든 위상 관찰 방법에 LED 조명을 사용합니다.LED 조명은 일정한 색 온도를 제공하며 모든 밝기 수준에서 트루 컬러 이미지를 제공합니다.

모든 밝기 레벨에서 트루 컬러 이미징

• 자유 조절
• 램프 교체 불필요 – 가동 중지 시간 없음
• 복제 가능한 결과

LED는 수명이 길고 전력 소비량이 적기 때문에 비용 절감 잠재력도 크다.

옵티컬 "고수"

DM3 XL은 경제적인 가격으로 탁월한 광학 성능을 제공합니다.

• 사사조명으로 측면, 가장자리 또는 부스러기를 검사한다. 간단하고 효과적인 방식으로 부동한 각도에서 견본을 밝게 비추어 여러가지 형상을 시각화한다.
• 심암장 대비를 통해 샘플의 낮은 층의 미세한 스크래치나 작은 입자를 검사한다.

현저하게 향상된 감도와 해상도에 놀라실 것입니다.

다양한 샘플 – 가변 캐리어 플러그인

검사하려는 샘플의 종류와 크기에 관계없이 선택할 수 있는 다양한 캐리어 플러그인이 있습니다.

• 적재대 크기: 150mm x 150mm
• 캐리어 플러그인: 금속 플러그인, 웨이퍼 받침대 또는 마스크 받침대
• 빠른 대략적 또는 정확한 적재대 위치

편안하고 직관적인 작업

CCDA(컬러 코딩 조리개 보조)는 해상도, 대비, 심도의 기본 설정을 단순화하여 작업 속도를 높이고 작업 실수를 최소화하는 데 도움이 됩니다.

직관적이고 명확한 기능을 통해 팀이 최상의 결과를 보다 신속하게 제공할 수 있습니다.

• 쉽게 조작할 수 있는 컨트롤 덕분에 명암비나 조명을 전환할 때 두 손은 현미경을 계속 조작하고 두 눈은 샘플에 집중할 수 있다.
• 라이트 컨트롤러를 손쉽게 조작할 수 있는 오른손
• 가변 인체공학 경통과 초점 조절 다이얼을 사용하여 키에 따라 현미경을 조정하다

자세한 내용은 021-80109380으로 문의하십시오.