실험실 광각기

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개요

실험실 광각기 파라미터: 1. 노출 면적: 160mm*160mm.2. 노출 해상도: 접촉식 노출 0.8um-1um.3. 정밀도 맞추기: 1-1.5um. 4. 광원 강도: 35mW/cm2.5.UV 라이트: 수입 LED 모듈.

제품 정보

랩 포토레지스트 제품 매개변수:

1. 노출 면적: 160mm*160mm

2. 노출 해상도: 접촉식 노출 0.8um-1um

3. 정확도: ± 1-1.5um

4. 광원 강도: 35mW/cm2

5.UV 라이트: 수입 LED 모듈

6. 노출 중심 파장: 365nm

7. 광원 수명: 1만 시간, 광원 평행성: ≤2°

8. 노출 해상도: 접촉식 노출 0.8um-1um

9.조도 불균형성:≤3%

10. 노출 설정: 타이밍

11. 실행 가능한 노출 모드: 진공 접촉, 하드 접촉, 압력 접촉, 접근식

12. 간격 설정 방식: 숫자 설정 노출 간격 0-1200um

13. 조절 가능, 간격 자동 분리 및 제거

14.견본, 마스크 상대 이동 범위: X: ±5mm, Y: ±5mm, 0 = ±6°

15.마스크판 평평하게 찾기 방식: 공 에어 플로트 자동 평평하게 찾기

16. 마스크 지원 가능 크기: 3'x3', 4'x4', 5'x5', 7'x7'각 1개

17. 스탠다드: 2인치, 3인치, 4인치, 6인치

18.표준 부품 호환 가능한 견본 두께: 0.1-5mm, 기타 크기 사용자 정의 가능

19.조준 시스템: 광학 + CCD, 현미배수: 증폭배율: 150배-720배 조정 가능

20. 듀얼 렌즈 조절 가능 거리 범위: 30mm-120mm

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