LAUDA-Noah POU 열전 공정 온도 조절기: -20~90C

LAUDA-Noah POU 열전 공정 프로세스 온도 조절기는 반도체 업계에서 사용되며 -20에서 90C까지의 온도 제어를 제공합니다.

까다로운 프로세스 신속 및 온도 제어

열전 온라인 사용(POU) 온도 제어 시스템은 플라즈마 부식 공정에 안정적인 온도 제어를 제공합니다.시스템은 정전기 카드 디스크(ESC)의 온도를 동적으로 제어하며 어떠한 부식 작업에도 사용할 수 있습니다.LAUDA-Noah POU 열전 온도 제어 시스템은 팔르페 컴포넌트의 온도 변화 원리를 기반으로 설계되었습니다.이러한 원본은 빠르고 정확한 온도 제어를 실현하여 오늘날 생산 크기가 점점 작아지는 부품의 요구를 만족시킬 수 있다.

주요 기능

저전력 압축기 및 냉각기 없는 시스템

산업 영역은 설치 공간이 작고 바닥 아래에 배치할 경우 설치 공간 요구 사항 없음

매우 낮은 열전도성 액체 충전량

첨부 표준

수동 펌프가 있는 가액 탱크

첨부 옵션

원격 제어 가능한 통신 모듈(RS-485 통신 프로토콜)

LAUDA-Noah POU 온라인 사용(POU) 온도 제어 시스템은 압축기 시스템에 비해 90%의 에너지를 절약할 수 있다.바닥 아래에 설치하는 옵션을 선택하여 시스템 공간을 좁히고 클린룸 공간을 절약할 수 있습니다.