KM-A 온라인 웨이퍼 건조기

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개요

웨이퍼 건조기는 웨이퍼 생산라인을 위해 $r$n 초임계 기술을 8인치 및 12인치 웨이퍼 생산라인에 도입 $r$n 고효율 자동화 상하재, 웨이퍼 생산에 적합한 초순수 환경

제품 정보

웨이퍼 건조기웨이퍼 생산라인을 위한 개발

초임계 기술을 8인치 및 12인치 웨이퍼 생산선에 도입하다

웨이퍼 생산에 적합한 고효율 자동화 상하재

높은 신뢰성

웨이퍼 건조기견고하고 내구성이 뛰어난 패브릭 설계와 안정적인 작동 성능을 통해 오랜 기간 동안 일관성 및 신뢰성을 보장하고 유지 관리 빈도를 줄입니다.

* 라인 장비 표준으로 개발

* 생산 라인 설비의 자동화 요구 사항을 충족하는 웨이퍼 건조 공정을 위해 설계된 상하 자재 기구

KM-A线上晶圆干燥机

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