Jupiter Discovery 원자력 현미경

혁신 AFM 기술, 큰 샘플 검사 성능

l초고해상도 이미징

l대용량 이미징

워크플로우 최적화 및 사용자 경험 향상

l프로브 사전 설치

l상단 및 측면 이중 CCD 시스템

l지능 FFM - Topography 모드

다양한 액세서리 및 확장성

l다양한 액세서리 옵션

l추가 기능 확장

혁신적인 디자인 아이디어, 세로 및 가로 해상도 대폭 향상

l최적화된 패브릭 설계 적용, 시스템 강도를 효과적으로 향상시키고 열 표류 영향을 낮추며 소음 수준은 25pm보다 낮다.

l배치가 우수하다 LVDT 위치 감지 기술은 시스템 소음을 현저하게 낮추고 장기적으로 안정적인 고해상도 측정을 유지하며 중복 교정 수요를 줄인다.

테스트 효율성 향상

l최적화된 전자 및 기계 대역폭 설계, 스캔 속도는 일반적인 큰 샘플 원자력 현미경보다 현저하게 향상되었으며, 동시에 각종 작업 패턴과 부품에 대한 호환성을 유지했다.

l고속 스캔 기능은 이미지 수집 시간을 단축시킬 뿐만 아니라그리고 응용 방식도 넓혔다.이 기능은 고해상도를 유지한다는 전제하에 광범위한 샘플 검사를 지원하며, 다중 영역 접합 기술을 통해 더 큰 샘플의 완전한 표징을 실현할 수 있다.

워크플로우 단순화

l사전 설치형 프로브 설계 적용프로브 교체 프로세스를 단순화합니다.

l완전 자동화 설정으로 수작업 단계 대폭 감소를 클릭하여 매개변수 최적화를 완료합니다.

l다각도 광학 관찰 시스템을 갖추다.측시 관찰과 고화질 상단 뷰 두 세트의 CCD 시스템을 포함하여 검사 영역을 신속하게 찾을 수 있습니다.

조작이 간편하다., 사용 편이성

l지능형 워크플로우, 매개변수 설정 및 데이터 수집 자동 최적화

l모든 작동 모드는 자동화된 프로세스를 통해 사용자가 구성을 완료하도록 유도하는 일관된 설계 개념을 따릅니다.시스템은 기술 실행 가능한 범위 내에서 전 과정의 자동화 처리를 실현하고, 반드시 인공적으로 개입해야 하는 부분에 대해작업자가 원활하게 작업을 완료할 수 있도록 자세한 작업 지원을 제공합니다.

AutoPilot 지능형 알고리즘으로 운영 효율성 향상

lAutoPolit 기능은 가볍게 두드리기 모드와 새로운 FFM -Topography 모드의 기본 이미지를 최적화하는 데 중점을 두었으며 다른 고급 모드도 크게 간소화되었습니다.전도성 원자력 현미경(CAFM), 켈빈 프로브 현미경(KPFM), 전압 전력 현미경(PFM), 스캐닝 용량 현미경(SCM)과 같은 고급 모드도 이제 풍부한 경험 없이 쉽게 사용할 수 있다.

다중 반복 검사 프로세스 자동화

l자동화 테스트 모듈, 사용자가 미리 설정된 샘플 좌표 위치에 차별화된 스캐닝 방안을 배치할 수 있도록 지원하며, 산업 품질 검측 분야에 적용된다(QA/QC),웨이퍼 표면 퇴적/식각 공정의 품질 모니터링과 표면 형상 특징 분석을 포함한다.동시에 과학연구 장면에서의 중복성 실험 프로세스 자동화를 지원하며, 고속 스캐닝 기술과 함께 대형 샘플의 체계적인 검측으로 확장할 수 있다.