집적회로 초순수설비

대규모 집적회로 초순수 수질에서 우선적으로 주목받는 수질 지표는 저항률,TOC、실리콘, 미립자, 중금속, 용해산소, 알칼리금속 등, 이런 물질은 물에 용해되는데 집적회로칩의 제조과정에서 사용하는 수질에 함유된 이온성분이 많을수록 제품의 제조공정에 대한 영향이 커져 제품의 량률이 낮아진다.

집적회로의 초순수설비는 흔히 공업반도체원자재와 사용하는 그릇의 세척, 광각마스크판의 제작 및 규소조각의 산화에 사용되는 수증기원 등에 사용된다.이밖에 진공관 등의 제작, 두꺼운 막과 박막회로, 고체전자부품, 인쇄회로 등도 모두 초순수를 사용해야 한다.과학기술이 끊임없이 발전함에 따라 집적회로의 집적도가 날로 증가하고 수질에 대한 요구도 따라서 높아짐에 따라 초순수처리공정 및 제품의 지속가능성, 생산의 연속성, 설비의 자동화와 간이성은 모두 더욱 엄격한 요구를 제기하게 되었다.

공정:

원수→원수가압펌프→다매체여과기→활성탄여과기→연수기→정밀여과기→양수지여과기→음수지여과기→음양수지혼상→미공여과기→용수점
원수→원수가압펌프→다매체여과기→활성탄여과기→연수기→정밀여과기→1등급반침투→PH조절→중간물탱크→2급반침투(반침투막 표면대 양전하)→순화물탱크→순수물펌프→미공여과기→용수점
원수→원수가압펌프→다매체여과기→활성탄여과기→연수기→정밀여과기→1급반침투기→중간물탱크→중간물펌프→EDI시스템→미공여과기→용수점

침출원 순수침은 현재의 집적회로용 초순수설비에 대해 선진적인 전자동 2급 반침투 + EDI 전기제염 + 포광혼상처리기술을 채용하고 전치예처리부분에 반침투처리를 배합하여 수중의 각종 염분과 불순물을 효과적으로 제거할수 있으며 이어서 EDI 전기제염과 포광혼상기술을 사용하여 수질의 가용성이온을 효과적으로 제거하고 출수수질을 한층 더 향상시켜 최종수질요구에 도달할수 있다.

장치 특징:

1. 수입 증압펌프를 사용하여 소음이 낮고 효율이 높으며 안정적이고 믿을 만하다
2.전자동 전기 제어 프로그램, 터치스크린 조작도 옵션으로 사용할 수 있어 편리하다.
3.전자동 사전 처리 시스템을 채택하여 무인화 조작을 실현하고 인공 유지 보수 원가를 줄인다.
4. 수입 반침투막을 사용하여 탈염률이 높고 사용 수명이 길며 운행 원가가 저렴하다.
5.현지 수질에 부합하는 개성화 설계, 전방위적으로 수요를 만족시킨다.
6.온라인 수질 모니터링 통제, 수질 변화를 실시간으로 모니터링하여 수질 안전을 보장합니다.
7. 재생용수 및 재생하수처리시설을 아껴 산수율(95% 수준)이 높다.
8. 산성 알칼리 비축과 산성 알칼리 희석 운송 시설을 사용하지 않고 안전하고 신뢰할 수 있으며 노동자가 산성 알칼리에 노출되지 않도록 합니다.
9. 설치 과정을 간소화하고 부지 면적을 줄인다.

응용 분야:

1. 반도체 재료, 부품, 인쇄회로기판과 집적회로완제품, 반제품용 초순수.
2. 트랜지스터 생산 중 주로 실리콘 조각을 세척하는 데 사용되며, 다른 소량은 약액 조제에 사용된다.
3. 반도체 재료, 웨이퍼 재료 생산, 가공, 세척.
4. 집적회로 생산 중 순수한 물로 실리콘 조각을 세척한다.
5. 전자관 생산, 전자관 음극 도포 탄산염 배액.
6. 광전제품, 기타 첨단과학기술정미제품.
7. 현상관과 음극선관 생산, 재료용 순수한 물.
8. 전해콘덴서 생산 알루미늄 포일 및 작업 부품의 세척.