IE414, IE514 열전리 진공계

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개요

IE414, IE514 열 이온화 진공계 $r$n$r$nIE414 및 IE514는 열 음극 이온화 효과에 기반한 진공 센서입니다.IE414는 Bayard-Alpert 진공계이고 IE514는 공기 흡입기 원리를 기반으로 합니다.이러한 패시브 진공계는 IM540 진공계 컨트롤러에 의해 조합되고 제어됩니다.

제품 정보

IE414, IE514 열전리 진공계

IE414 및 IE514는 열음극 이온화 효과에 기반한 진공 센서입니다.IE414는 Bayard-Alpert 진공계이고 IE514는 공기 흡입기 원리를 기반으로 합니다.이러한 패시브 진공계는 IM540 진공계 컨트롤러에 의해 조합되고 제어됩니다.

음극 발사 전류를 조절하여 IE414의 측정 범위는 10-2mbar에서 10-11mbar로 9분 이상이다.추출기 원리를 채택했기 때문에 IE514는 2 × 10-12mbar의 측정 하한선에 도달할 수 있는데, 이는 그 자체가 X선과 이온 흡입 효과를 줄였기 때문이다.IE414 및 IE514 진공 헤드는 저방기 진공 시스템을 위해 설계되었으며 매우 높은 온도(400°C)에서 구울 수 있습니다.내고온 진공 헤드 케이블 키트는 200°C(센서 플랜지에서 250°C)가 넘는 고온 구이에도 사용할 수 있다.

우위

개별적으로 교정된 감지 시스템을 채택하여 측정 정밀도가 높다.

교체 가능한 음극

매우 높은 온도에서 굽는 온도는 400°C에 달한다.

IE414는

Bayard-Alpert 센싱 원리

측정 범위는 2 × 10-11 mbar에 달한다

음극 송신 전류 변조(IM540 진공계 컨트롤러와 함께 사용)

IE514는

공기 흡입기 감지 원리

낮은 측정 한계, 2×10-12mbar

X선 및 이온 분해 효과 대폭 감소