수소 가스 질량 유량 컨트롤러

MFC330 시리즈 가스 품질 유량계/컨트롤러는 모세관 실린더 유량 센서, 바이패스 분류 시스템, 고정밀 비율 밸브 및 제어 시스템을 포함하고 있습니다.

측정된 기체가 들어오면 먼저 센서와 우회 분류 시스템을 통과한다.센서가 실시간으로 기체 유량을 측정하고, 고정밀 비례 밸브 동적 응답으로 기체 유량을 설정값으로 빠르게 조절한다.유량을 측정하고 조절하는 폐쇄 루프 구조로 MFC330은 환경 온도 변화나 수출입 기압 파동에도 안정적인 유량 제어를 유지할 수 있다.

제품 특징

정확한 품질 유량 측정 / 제어

신속한 응답, 높은 반복성

온도 및 압력의 영향을 받지 않음

작업 로드 범위: 0-1MPa

저전압 손상 옵션

전체 금속 비율 밸브 옵션

내장형 디스플레이 옵션

경제적인 솔루션

주요 매개변수

매체는 깨끗하고 건조한 기체를 요구한다

가스 종류 98 + 가스 옵션

범위 0-2, 10, 20, 50100300500 sccm

0-1, 2, 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 500slpm

측정 범위 0.5% F.S. (1:200)

제어 범위 1%-100% FS. (1:100)

정확도 ±1% F.S.

반복 정밀도 ±0.2% F.S.

선형도 ±0.2% F.S.

응답 시간 제어<3초

예열 시간 5 min (T95), 30분

밸브 상폐식