Hellma 불화칼슘(CaF₂) LD-A 소재 높은 투과율

Hellma 불화칼슘(CaF₂) LD-A 소재 높은 투과율

Hellma 불화칼슘 LD-A 모델의 핵심 기술 이점

193nm 심자외선 대역 전용 최적화, 초고투과율과 저흡수 손실

Hellma CaF₂LD-A 소재는 193nm ArF 준분자 레이저 대역의 방향성을 위해 개발된 고순도 광학급 소재로 심자외선 영역에서 갖춘 광학 전송 성능이다.일반 광학 유리, 석영 재료는 193nm 대역에서 강한 흡수와 투과율 감쇠가 나타나 레이저 전송과 광각 영상 수요를 만족시킬 수 없지만 LD-A 모델의 불화칼슘 단결정은 193nm에서 투과율이 90% 이상에 달하고 흡수 계수가 매우 낮아 레이저 에너지 손실과 열 누적이 거의 발생하지 않는다.재료는 자외선 대역의 전속 퇴화, 불순물 제거, 웨이퍼 최적화 처리를 거쳐 색심, 빈자리, 금속 이온 등으로 인한 자외선 흡수의 결함을 제거하고, 고출력 자외선 레이저의 연속적인 조사 하에 퇴색, 손상, 광학 성능을 변경하지 않도록 보장하며, 193nm 광각 시스템, 레이저 세척, 자외선 스펙트럼 검측 시스템의 이상적인 기재이다.

고품질 단결정 구조와 <111> 우수결정 취향, 광학 균일성 업계

이 제품은 단결정 (monokristallin) 구조를 채택하여 전체적으로 단일 연속 결정격으로 구성되어 있으며, 무결정계, 무위착집합, 무미균열, 무불순물 편석, 광학 균일성은 다결정 불화칼슘과 일반 용융석영을 훨씬 초과한다.단결정 구조는 굴절률이 균일하고 일치하도록 보장할 수 있으며, 광선 전송 과정 중의 산란, 기변, 반점 이산을 피할 수 있으며, 영상 정밀도와 레이저 전송 품질을 보장한다.

동시에 제품은 <111> 결정체 취향을 사용하는데, 이는 불화칼슘 재료가 심자외선 레이저 응용에서 대량의 검증을 거친 우수한 취향이다.<111> 결정면은 가장 높은 구조 대칭성, 낮은 이중 굴절률, 우수한 응력 분포 특성을 갖추고 있어 레이저 유도 손상 임계값 (LIDT) 민감성을 현저하게 낮추고 소자의 고출력 레이저 충격 저항 능력을 향상시킬 수 있다;고온, 고압, 강한 레이저 복사 환경 하에서 <111> 취향의 결정 구조는 더욱 안정적이며, 응력 갈라짐, 굴절률 기변, 이중 굴절 증대 등 문제가 나타나지 않으며, 광학 시스템이 장기적으로 한다센 yyds 우아남을 안정적으로 운행할 수 있도록 보장한다.

Hellma 불화칼슘(CaF₂) LD-A 소재 높은 투과율