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상해시 홍구구 보산로 778호 헬렌국제빌딩 5층
Shanghai Juna Technology Co., Ltd
개요
CTRM 700 레이저 공초점 현미경은 한국 Nanoscope Systems사가 개발한 열반사식 레이저 공초점 현미경으로 열화상과 고속 3D 레이저 공초점 현미경을 하나로 모아 샘플의 열화상과 3차원 형상을 동시에 관찰할 수 있다.
제품 정보
CTRM700은 한국의 Nanoscope Systems에서 개발하여 상업화 운영 중인열반사식 레이저 공초점 현미경。
CTRM 700은열반사식 레이저 공초점 현미경레이저 공초점 스캐닝 방법을 이용하여 샘플의 표면 또는 내부 특정 표면상의 온도 변화로 인한 반사율 변화의 분포를 측정하여 샘플의 열분리 이미지를 얻는다.
Principles & Benefits(성능 및 이점):
열반사현미경(Thermal Reflectance Microscope)은 시료의 표면 광반사율 변화를 측정하기 위해 시료의 온도 변화를 측정하는 기술이다.
공중초점 열반사 현미경 기술은 레이저 스캐닝 공초점 방법으로 국부 지역에서 전통적인 열화상 기술 (적외선 영상 기술) 보다 높은 해상도의 열화상 이미지를 얻을 수 있다.
애플리케이션 필드(Application field):
반도체 부품의 열 특성 측정 및 분석:
- 플렉시블 디스플레이 패널 결함 검사
- OLED 내부 결함 검사
- 고출력 장치 발열 특성의 측정 및 분석
- 센서 유닛의 적외선 이미지 분석
- 산화물 박막 트랜지스터의 열 특성
-3D 스태킹 반도체 열 특성의 측정 분석
- OLED 부품의 열 특성 분석
- 가스 센서의 MEMS 장치의 열 특성 측정 및 분석
- InGaZnO 박막 트랜지스터의 발열 특성 및 신뢰성 분석
Specification(사양)
| 모델 | 현미경 CTRM 700 | ||||
| 물경 배율 | 10x | 20x | 50x | 100x | |
| 관찰 / 측정 범위 | 수평(H): μm | 1400 | 700 | 280 | 140 |
| 垂直 (V): μm | 1050 | 525 | 210 | 105 | |
| 작업 범위: mm | 16.5 | 3.1 | 0.54 | 0.3 | |
| 숫자 구멍 지름(N.A.) | 0.30 | 0.46 | 0.80 | 0.95 | |
| 광학 줌 | x1에서 x6 | ||||
| 옵티컬 시스템 관찰 / 측정 | 핀홀 공초점 광학 시스템 | ||||
| 높이 측정 | 7개의 mm | ||||
| 해상도 | 가로 해상도 | 0.3 μm | |||
| 축 해상도 | 0.8 μm의 | ||||
| 열 해상도 | 1℃ | ||||
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이미지 크기 | 공통 초점 모드 | 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96 | |||
| 열화상 모드 | 1024x768 | ||||
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프레임 속도 | 공통 초점 모드 | 10 Hz 에서 160 Hz | |||
| 열화상 모드 | 0.3 Hz | ||||
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레이저 초점 측정 광원 | 파장 | 638nm | |||
| 출력 | ~ 2mW | ||||
| 레이저 등급 | 클래스 3b | ||||
| 광학 현미경 광원 | LED는 | 10W | |||
| 광학 관찰 카메라 | 이미지 컴포넌트 | 1/2"컬러 이미지 CCD 센서 | |||
| 레코드 해상도 | 640x480 | ||||
| 데이터 처리 장치 | PC는 | ||||
| 전원 | 전원 전압 | 100 to 240 VAC, 50/60 Hz | |||
| 전류 소비 | 최대 500 VA | ||||
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무게 | 현미경 | 약 ~50 kg (측정 머리 단위: ~14 kg) | |||
| 컨트롤러 | ~ 8 kg | ||||
