연마액 액체 과립 계수 분포 시스템

제품 소개연마액 액체 과립 계수 분포 시스템 상업용 집적 회로의 제조는 화학 기계를 통한 평탄성에 달려 있다화학(CMP)은 실리콘 웨이퍼 표면을 원자의 평탄도에 가까운 연마재 펄프 입자의 물리적, 화학적 성질로 광택을 낸다.연마재 펄프 (Slurry) 에는 상대적으로 적은 > 1.0 μm 의 입자 (예: 이산화규소, 산화알루미늄) 가 함유되어 있는데, 이 입자들은 웨이퍼 표면을 평탄하게 처리할 때 미세한 스크래치를 일으킬 수 있다.따라서 연마재 펄프 (Slurry) 입자의 큰 입자 계수 (LPC) 는 CMP 공정에서 핵심 요소입니다.

검측 원리측정을 기다리는 액체는 류통못을 흐르고 류통못의 량측에 광학유리가 설치되여있으며 레이저의 광속은 렌즈조를 통해 정직하고 광속은 류통못을 지나 광함정에 비친다.만약 측정할 액체에 알갱이가 없다면 광전탐측기는 광신호를 접수할수 없다. 만약 액체에 알갱이가 있으면 알갱이가 류통못을 통과하여 레이자광속과 가리거나 산란현상이 발생한다.어느 한 각도 (또는 몇 개) 의 가리개와 산란 신호는 렌즈를 통해 수집하여 광전 탐지기에 모여 양의 전신호 펄스를 생성하며, 펄스 신호의 폭과 빛의 강도는 정비례한다.신호의 폭과 개수에 따라 액체 속의 미세한 입자를 계수 검사할 수 있다.광저항법은 2μm 이상의 비교적 큰 입자를, 광산란법은 2μm 이하의 입자를 주로 검출한다.두 모델의 교묘한 융합 검사는 입자의 탐지 범위를 더욱 넓히고 정밀도를 높여 입자를 숨길 곳이 없게 한다.PLD-FX-801 액체 입자 카운터는 광 산란법과 광 저항법 이중 모드의 검측 원리를 기반으로 프로티 핵심 기술인 8세대 이중 레이저 협광 입자 검측 센서, 이중 정밀 유량 제어 및 오프라인 자동 희석 시스템을 사용하여 연마액의 불량 입자 및 이러한 입자의 농도를 평가하는 데 사용할 수 있습니다.PLD-FX-801 액체 입자 카운터는 시스템에서 입자 오염원을 확인하고 필터의 유효성을 평가하며 불량 입자를 선택하는 데 따른 위험을 줄이는 데 효과적입니다.

일반적인 어플리케이션 적용 대상 CMP POU 공급 전 단계 - 공급 장치의 Final out에서 Slurry 내에서 scratch & defect를 일으키는 Large Particle이 검출되어 사고를 예방합니다.검측 구분 Slurry good/bad test, good/bad slurry에 적용하여 공급단에서 분석하여 사고를 예방한다;전자반도체 업계 순수 수중 입자 모니터링 분석에 응용한다;전자반도체 업계 전자화학품 중 입자 모니터링 분석에 응용한다;필터링 업계에 적용되는 필터링 효율 및 필름 완전성 모니터링;정수장 정수, 제철소 회수수, 상수도 용수 등에 활용한다.

성능 특징 이중 모드의 검측 원리는 입자를 숨길 곳이 없게 한다;0.5-100μm의 표준 입자 크기로 초광범위한 입자 모니터링 범위;정확한 트래픽 제어는 모니터링 데이터를 더욱 일정하고 안정적으로 만듭니다.오프라인 자동 희석 시스템에서는 초고농도 입자에 적합합니다.높은 유속으로 빠른 세척 시간과 시스템 청결도를 보장합니다.계기 일체화 설계 고장률은 낮은 유지 보수 원가를 보장한다;라텍스 볼 교정은 NIST 표준으로 거슬러 올라갑니다.연마 펄프 중 입자의 입경 크기, 수량과 추세 분석을 실시간으로 관찰한다;제한값 경보를 유연하게 설정하여 동적 변화 응답이 빠르다;유연한 통신 방식을 선택하여 공장의 현대화 관리를 실현할 수 있다;

기술 매개변수

센서: 8세대 듀얼 레이저 협광 검출기(보다 정확하고 안정적이며 신속함)

테스트 원리: 광 저항과 광 산란 이중 모드

테스트 샘플: 물과 유기용매

측정 범위: 0.5-100μm

채널 개수: 1000 채널 16개 설정 가능

당신의 검측 시간: 5s~사용자 정의

입경 정밀도: ≥ 90%

계수 정밀도: ±3%

샘플링 정밀도: ±1%

샘플링 유속: 5mL/min~150mL/min

- 측정 방식: 온라인/오프라인, 희석/직접

경보 방식: 음광 경보기, 누액 경보, 입자 제한 경보

컨트롤 시스템: Windows 운영 체제

- 통신 방식: TCPIP 표준,옵션: RS232/RS485/4-20mA

주문 구성

표준 구성:

호스트 세트 테스트

디버깅 소모품 세트 설치하기;

출고된 종이 문서 한 세트.

입구 압력 조절 모듈.

활용 사례

온라인 또는 오프라인 측정 시 Match 공급장치 filter 스위칭 시 또는 charge와 같은 공급장치 Event 변화에 따른 LPC Data는 Slurry의 Grade를 효과적으로 모니터링합니다.