질화규소 세라믹 기판 기압 제조 설비

질화규소 세라믹 기판 기압 제조 설비용도 및 특징:

질화규소 세라믹 기판의 기압 소결 성형.

(1) 수평식 구조로 난로체, 가열장치, 진공시스템, 분위기제어시스템 등으로 구성된다.

(2) 난로 케이스 재료는 16MnR 압력 용기강 또는 304 스테인리스강을 사용합니다.

(3) 발열체는 등정압흑연, 보온층은 흑연펠트, 탄소탄소심적섬유복합재료 등으로 만든다.

(4) 수입 고압 가스 품질 유량계를 장착하여 동적 공정 분위기에서의 안정적인 소결을 실현한다.

(5) 고압 분위기에서 적외선 정밀 제어 난로 온도 기술, 특수한 적외선 청소 구조, 최고 온도 2100 ℃ (2MPa를 초과하지 않음) 에서 장기간 안정적으로 소결되도록 확보한다.

질화규소 세라믹 기판 기압 제조 설비 주요 규격:

설계 온도 2100 ℃, 진공 Pa, 재료 조립 구역 사이즈는 (길이 너비 높이): 400 × 250 × 250 mm, 500 × 450 × 450 mm, 1250 × 500 × 500 mm, 1400 × 600 × 600 mm