가스 품질 유량 컨트롤러

전체 규모 범위 (N2 Eqv)

단일 가스2-5000sccm의 단일 가스5-50slm의

제어 제어 제제제 제제어 제어 제어 제어 제제어 제제어 제어 제어 제어 제제어 제제어 제제어 제제밸브 유형

상개식 또는 상폐식 나선관（NC 또는 아니오)

피팅연결

1/4'VCR 또는 1/4'Swagelok호환

밀봉밀봉

고무Viton은

응답 시간응답 시간

wlSec는(풀 스케일 초과10%）

정확도정확성

25%-100%:w ±1%SP"만량정"25%에 100%) 2%-25%:w ±0.25%F.S"만량정"2%에 25%)

선형성선형도

w만량정토 0.5%

반복성반복성

w만량정의±0.2%

차압압차

7-40psi의

누출 무결성누락률

최대: 1x10-7Pa.m3/sec (그는)

제어 범위제어 범위

만량정의2-100%

최대 작동 압력최대 작동 압력

70psi의

증거 압력압력을 받다

최대값140psi의

통신 유형통신 모드

시뮬레이션 0-5V/RS485

입력 전력입력 전력

+15VDC±2%100mA에서

- 15VDC±2%200mA에서

명령 신호아날로그 신호 입력

아날로그 신호0-5 VDC(입력 임피던스＞1M Q）/디지털 신호0-100%

출력 신호송수신 시뮬레이션 신호

아날로그 신호0-5 VDC(입력 임피던스＞2M Q）/디지털 신호0-100%

전력 소비전력 소모

4.5W

온도 범위온도 범위

5-45 도 C

재료재료

316LSS, 316SS의 PTFE

무게무게

0.9KG

표면 마무리표면처리

5RA는