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사분사 헤드 초음파 균일 접착기 회전 도료기베이스에 포토레지스트나 기타 기능성 액체를 코팅하는 데 사용되는 가오던, 고정밀도의 반도체 및 마이크로나노 가공 설비이다.그것은 젤라틴 기술의 최신 발전 방향을 대표하는데, 특히 복잡한 구조와 비평면 라이닝의 젤라틴에 적합하다
전통적인 접착제는 일반적으로 고정된 접착제 헤드나 정적 스프레이만 있는데, 중심 접착제나 정적 분사 방식을 통해 포토레지스트를 기판 위에 덮은 후 고속 회전을 통해 발생하는 원심력을 통해 접착제를 균일하게 펴게 한다.
사분사 초음파 균일 접착기는 혁명적인 설계이다.다음과 같은 핵심 부품이 통합되어 있습니다.
네 개의 독립된 초음파 압전 스프레이: 이것은 그 이름의 유래이다.각 스프레이는 독립적이고 정밀한 액체 분배 단위이다.
고정밀 로봇 팔: 이 네 개의 노즐은 여러 자유도의 로봇 팔에 장착되어 있으며, 노즐이 기판 위에서 복잡한 3D 동작을 하는 것을 정확하게 제어할 수 있다.
초음파 안개화 기술: 고주파 초음파 진동을 이용하여 액체를 극히 미소하고 균일한 안개 모양의 액적 (일반적으로 직경이 마이크로미터 수준) 으로"찢어낸 후 공기를 실어 분사한다.
공동 제어 시스템: 각 노즐의 스위치, 트래픽, 로봇 팔의 동작 궤적을 동시에 제어할 수 있는 복잡한 소프트웨어 시스템.
1. 작업 원리 약술:
그것은 단순히 접착제를 중심에 떨어뜨리는 것이 아니라 마치 한 대와 같다."3D프린터 또는 잉크젯 프린터와 마찬가지로 프로그램을 통해 네 개의 스프레이를 제어하고 기본 슬라이스 표면에 미리 설정된 경로를 따라 스캔 스프레이를 칠합니다.각 스프레이는 독립적으로 작업할 수도 있고 협동하여 작업할 수도 있어 qian이 가지고 있지 않은 코팅의 균일성과 유연성을 실현할 수 있다.
2. 핵심 우위:
전통적인 젤라틴 기계에 비해 4 스프레이 초음파 젤라틴 기계는 압도적인 우위를 가지고 있습니다.
1.jigao의 균일성:
2.zuo가 넘는 계단의 커버성과 보형성:
3.ji 높은 재료 활용도:
4.뛰어난 호환성과 유연성:
5.결함 감소:
3. 컴퓨터 응용 분야:
독특한 기술적 이점으로 인해 4 노즐 초음파 균일 접착제는 주로 접착 공정에 대한 ji가 높은 첨단 기술 분야에 적용됩니다.
1.* 반도체 제조:
2.MEMS(마이크로컴퓨터 시스템)
3.화합물 반도체 및 전력 부품:
4.광자 소자 및 광학 소자:
5.디스플레이 기술:
6.과학 연구 및 최첨단 탐구:
4.사분사 헤드 초음파 균일 접착기 회전 도료기기술 매개 변수:
제품명 |
사분사 헤드 초음파 균일 접착기 |
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제품 모델 |
CY-300SS-4는 |
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고무 고르는 기계 |
원형 결정 크기 |
12인치 |
캐비티 재질 |
폴리테트라 플루오로 |
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가열 온도 |
≤200℃ (1시간 사용 가능) |
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온도 제어 정밀도 |
+/- 0.1ºC |
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가열 방식 |
적외선 가열 소자 |
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코팅 기간 |
0-60초 (조정 가능) |
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코팅 두께 |
≤100nm(가공 프로세스에 따라 다름) |
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회전속도 |
30~6000rpm조정 가능 |
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회전 가속도 |
30~2000rpm/s조정 가능 |
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회전 속도 해상도 |
1rpm |
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1회 최대 균일 접착제 시간 |
3000년대 |
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진공 흡판 |
한 조각2.5x2.5cm, 한 조각10x10cm |
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온도 조절 방식 |
AIP는지능형 온도 제어 |
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작동 방식 |
7 인치 HDLCD는터치스크린 |
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제어판 |
HD 터치스크린PLC는스프레이, 탈수 프로그램 및 온도 조절을 위한 컨트롤 패널 |
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점교기 전용 순수 기계 흡판 |
12 1 인치 (추가 사용자 정의 필요),6 1 인치 (추가 사용자 정의 필요) |
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무유 진공 펌프 |
모델:AP-2000V는 전력:0.55kw의 zui 저진공도:-700mm 수은 기둥;-92Kpa의 최대 대기 흐름:200L/분;12M3/h 무게:10kg |
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폼 팩터 크기 |
1200x1000x1050mm의 |
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초음파 시스템 |
수량 |
4개 |
안개 헤드 소재 |
티타늄 합금 |
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주파수 |
120kHz의 |
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전력 |
130W |
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트래픽 |
0.01-20ml/분 |
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미립자 지름 |
20-25um |
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스프레이 폭 |
2-20mm |
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안개 헤드 유형 |
테이퍼 |
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주사펌프 |
트래픽 범위 |
50ml/분 |
주사펌프 규격 |
10ml 정밀도+/- 0.01 ml |
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주사펌프 규격 |
100ml정밀도+/- 0.01 ml |
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선 속도 범위 |
5um/분-65um/분 |
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선 속도 조절 해상도 |
5um/분 |
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최대 일정 |
140mm의 |
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스트로크 해상도 |
0.156um의 |
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정격 선형 추력 |
>90N의 |
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유량계 |
가스 종류를 제어하다 |
2종 |
기체 유속 |
16-160ml/분 |
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