필드 발사 스캐닝 전자 현미경

JSM-IT810의필드 발사 스캐닝 전자 현미경자동화 기술을 이용하여 기기 디버깅부터 관측 분석까지 조작 효율을 높였습니다!

JSM-IT810의필드 발사 스캐닝 전자 현미경FE-SEM 제품군은 다기능성과 높은 공간 해상도를 결합하여 자동화된 작동을 제공합니다.인코딩이 필요 없는 이미징 및 EDS 분석 자동화 기능이 내장되어 있어 작업 흐름이 더욱 부드럽고 효율적입니다.또한 모든 SEM 사용자가 고품질 데이터와 더 나은 사용자 경험을 얻을 수 있도록 하는 기능도 추가되었습니다.이러한 기능에는 SEM 자동 조정 패키지, EBSD 테스트에서 유용한 사다리꼴 보정 기능, 표면 형태 관찰을 위한 Live 3D 재구성 기능이 포함됩니다.

FE-SEM의 작동은 JSM-IT810 시리즈처럼 간단하지 않습니다.

주요 특징

1. 자동 관찰 분석 기능'Neo Action'

SEM 관측 및 스펙트럼 분석(EDS)을 자동화하는 지능형 작업

샘플: 콘드라이트 Julesberg (L3.6)의 콘드롤, 착상 전압: 5 kV

2. 자동 보정 기능 SEM 자동 조정 패키지

샘플을 사용하여 자동 배율 조정, 전자빔 대 중화 EDS 에너지 교정을 수행합니다.정기적인 검사로 설비가 우수한 상태에 있는지 확인하다.

3. 실시간 3D 기능

5단 반도체형 탐지기는 배산란 전자신호를 선택할 수 있다.외부 4단에서 가져온 2D 이미지를 3D 이미지 재구성에 사용할 수 있습니다.

새로운 Live-3D 기능은 시료의 토폴로지 구조를 실시간으로 측정하고 검사합니다.

4. 통합 EDS

통합 EDS 통합은 SEM 관찰과 EDS 요소 분석 사이의 장벽을 제거합니다.화면에 점, 면, 선, MAP 등 각종 분석 패턴이 있는 것을 관찰하면 즉시 분석할 수 있다.