FIB 구리 네트 Lift-Out 캐리어 네트

FIB 샘플에 마운트하기 위해FIB 구리 네트 Lift-Out 캐리어 네트쉽게 샘플을 TEM으로 옮겨 관찰할 수 있다.이 적재망은 표준 3mm 직경이지만 내부 구조는 특수 설계되어 보통 TEM 적재망의 절반에 불과하며 2개, 3개, 4개 심지어 5개 이상의"기둥"을 가지고 있으며, 얇은 조각은 FIB를 통해 이 기둥에"용접"하는 것이다。

로딩 네트의 재료는 주로 다음과 같습니다.

• 구리 적재망: 가장 일반적인 선택.표면이 매끄럽고 용접이 쉽다.그러나 시료 자체에 구리가 포함되어 있거나 구리 요소의 EDS 분석이 필요한 경우 구리 캐리어를 사용하면 신호 간섭이 발생할 수 있습니다.。

  
  

• 몰리브덴 적재망: 구리 오염을 피해야 할 때 FIB 몰리브덴 적재망은 이상적인 대체품이다.그것은 구리보다 더 견고하다.

  
  

• 실리콘 적재망: 주로 반도체 부품의 분석에 사용된다.FIB 적재망과 샘플 기체는 모두 실리콘이기 때문에, 그들의 이온 빔 밀링 속도는 비슷하며, 어떠한 외부의 금속 원소 오염도 도입하지 않아 순도 높은 원소 분석에 매우 적합하다。

• 탄소 적재망: 순수한 탄소로 만든 FIB 적재망은 경원소에 민감한 분석을 위한 무금속 배경을 제공한다。