전자 프로브 시리즈

"The Grand EPMA" 탄생 최첨단장 발사 전자 광학 시스템 탑재 시마시마 EPMA 분석 성능 극대화 SEM 관찰 조건부터 1μA 체급까지 다양한 빔 흐름 조건에서 타의 추종을 불허하는 탁월한 공간 해상도의 첨단 장발사 전자광학 시스템을 갖췄다.도진의 전통적인 고성능 엑스선 분광기와 결합해 분석 성능을 극대화했다. 당당한'더 그랜드 EPMA', 최고 수준의 EPMA 탄생!

탁월한 공간 해상도

분석 조건 번들을 사용하여 No.1의 2차 전자 이미지 해상도를 자랑합니다.(전압 10kV 가속 시,20nm@10nA//50nm@100nA/150nm@1μA）。기존 전자총(CeB6, 텅스텐 필라멘트)의 결과와 비교하면 일목요연하다.

더 큰 번들로 원래의 전자총과 같은 해상도의 이미지를 얻을 수 있기 때문에 초고감도의 X선 분석을 할 수 있다.더욱 주목할 점은 번들이 1μA일 때의 SEM 이미지입니다.1μA 이상의 번들을 얻을 수 있고 이렇게 가늘게 압축할 수 있는 것은 EPMA-8050G뿐이다.

각종 전자총의 전자빔 생성 특성 비교(가속전압 10kV)

대속류 초고감도 분석

필드 발사 유형의 SEM, EPMA는 다른 기기가 도달할 수 없는 큰 빔 흐름(가속 전압 30kV에서 최대 3μA)을 구현할 수 있다.초미량원소의 검측민감도에서 질적비약을 실현하여 원소면을 분석할 때 초미량원소의 성분분포를 가시화하였다.또한 모든 빔 흐름 범위 내에서 대물경 광맹을 교체할 필요가 없으며 합축을 전혀 걱정할 필요가 없어 고도의 자동화 분석을 실현했다.

면의 3개 이미지는 서로 다른 빔으로 흘러내려 스테인리스강 중 약 1% 정도의 Si를 면 분석한 결과 ※번들이 크고 편차가 적을수록 Si가 포함된 범위를 더 명확하게 확인할 수 있습니다.

※ 분석 조건: 가속 전압 10kV, 적분 시간 50msec.분석에는 약 1시간이 소요됩니다.

최대 5채널 고성능 4인치 X선 분광기 동시 탑재

엑스선 추출 각도가 분석 성능을 결정합니다. 52.5 ° 가 한 수 위입니다.

엑스선에 대한 흡수가 적을수록 민감도가 높아진다.	높은 X선 추출각은 흡수로 인한 영향을 낮출 수 있으며 깊은 구멍의 밑부분, 구멍의 이물질을 분석할 수 있다.

깊은 구멍의 이물질에 대한 분석 인스턴스.왼쪽 아래는 철 (Fe) 의 분포이고 오른쪽 아래는 티타늄 (Ti) 의 분포이다.EPMA-8050G의 높은 인출 각도를 통해 표면이 뚜렷하게 오목하게 다른 샘플이라도 고정밀 분석이 가능하다.

분광 결정체는 전체 초점 존슨형 결정을 채택한다.

도진의 연구개발 경험을 계승한 결정 가공 제조 공정은 고감도 · 고해상도를 겸비한 분광 결정을 제공할 것을 보장한다.Johanson (존슨) 형 분광 결정체는 전체 초점 결정체로 상차가 없다.

최대 5채널의 고감도, 고해상도를 모두 고려한 4인치 스펙트럼을 동시에 탑재할 수 있다.

엑스선 분광기의 롤랜드 원 지름은 EPMA 분석 성능에 영향을 미치는 중요한 요소 중 하나입니다.롤랜드 원의 반지름이 1인치 증가할 때마다 검출 감도가 30% 이상 떨어집니다.섬진 EPMA 최대 가능

모든 분석 작업은 간단하고 이해하기 쉽다.

모든 조작을 마우스 하나로 할 수 있는 선진적인 조작성,'알기 쉬운'것을 추구하는 인간화된 사용자 인터페이스, 네비게이션 모드 탑재 등 여러 가지 새로운 기능은'알기 쉬운 조작'을 현실로 만들었다.초보자나 전문가급 사용자는 모두 원활한 조작 분석을 할 수 있다.

● 시료 가져오기에서 분석 보고서 생성까지 조작이 편리하다.
● 처음 사용해도 샘플 위치 SEM 관찰을 쉽게 할 수 있다.
● 비교할 수 없는 조작성으로 분석 준비 작업의 효율을 크게 향상시킨다.
● 시각적으로"이해하기 쉬운"인간적인 사용자 인터페이스를 추구한다.
● 네비게이션 모드를 탑재하여 분석 보고서를 생성할 때까지 자동으로 안내한다.