DX-7N 시리즈 순화 시스템

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개요

제품소개 저온촉매형기체순화시스템은 자체특허촉매제와 흡착제를 사용하는데 사용수명이 길고 순화깊이가 높으며 항원재료가스의 순간파동능력이 강한 등 장점이 있으며 물리흡착과 촉매반응을 련용하여 실온에서 타성을 유지할수 있다...

제품 정보

제품 소개

저온 촉매형 가스 순화 시스템은 자체 특허 촉매와 흡착제를 사용하여 수명이 길고 순화 깊이가 높으며 항원재료 가스의 순간 파동 능력이 강하다는 장점이 있으며 물리적 흡착과 촉매 반응 연용으로 불활성 가스 및 N2의 H2O, O2, CO, CO2, H2 및 MCHC를 실온에서 1ppb 미만의 수준으로 순화시킬 수 있으며 CO2, CO2 등을 제거할 수 있습니다.이 시스템 세트는 수동, 반자동 및 전자동의 3가지 작업 유형으로 사용 요구 사항에 따라 선택할 수 있습니다.

제품 성능

◎ 99.999% 순도 이상의 원기 배합에 적합

◎ 이 제품은 이중 구조, 작업 세트, 재생성 대체 세트

◎ 순화 깊이가 높고 각종 불순물 함량을 수출합니다<10ppb◎ 전기화학 포광 316(L) 스테인리스강

◎ 고효율 입자 필터 내장

◎ 촉매 및 흡착 공예 연용

낮은 작동 온도, 에너지 효율적인 장치

제품 적용

◎ 보호 가스 순화: 철강, 석유화학, 기계 산업

◎ 고순도 단결정 실리콘, 웨이퍼 외연, 대규모 집적 회로, 광전 제품 생산 등 전자 공업 가스 단말기 순화

◎ 반도체 공정 장비: CVD, MOCVD, HVPE, 확산로 등

◎ 대량 기체 순화