D07-9 품질 트래픽 컨트롤러/유량계

협상 가능업데이트02/09

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개요

D07-9 질량유량제어기/유량계는 열식 질량유량계로 질량유량제어기는 각종 기체를 측정하고 제어하는 데 응용할 수 있으며 측정 외에 기체의 질량유량도 정밀하게 제어할 수 있으며 질량유량계(MFM)는 기체의 질량유량을 정밀하게 측정할 수 있다.D07-9 제품은 화승전자의 연구개발 정밀도가 높고 응답 시간이 빠른 시뮬레이션 제품이다.

제품 정보

질량유량계(Mass Flow Meter 약자는 MFM)는 가스의 질량 유량을 정밀하게 측정하는 데 사용됩니다.질량 유량 컨트롤러(Mass Flow Controller는 MFC로 약칭)는 가스의 질량 유량을 정밀하게 측정하고 제어하는 데 사용됩니다.그들은 반도체와 집적회로공업, 특수재료학과, 화학공업, 석유공업, 의약, 환경보호와 진공 등 여러가지 분야의 과학연구와 생산에서 중요한 응용을 갖고있다.그 전형적인 응용 장소는 확산, 산화, 외연, 전자 공예 설비를 포함한다.CVD、플라스마 부식, 사출, 이온 주입;및 도금설비, 광섬유정련, 미반응장치, 혼합가스배기시스템, 모세관측정, 기상크로마토그래프 및 기타 분석기구.

D07-9 품질 트래픽 컨트롤러/유량계정밀도가 높고 중복성이 좋으며 응답속도가 빠르고 소프트시동이 가능하며 안정적이고 믿음직하며 작업압력범위가 넓은 등 특징 (고압 또는 진공조건에서 작업할수 있다.) 이 있으며 국제표준이음매를 채용하여 조작사용이 편리하고 임의의 위치에 설치할수 있으며 컴퓨터와 련결하여 자동제어를 실현하는데 편리하다.

D07 시리즈 품질 유량 컨트롤러 및 품질 유량계는 일반적으로 D08 시리즈 유량 표시기와 같은 제품과 함께 사용되며 컨트롤러와 디스플레이 사이에는 전용 케이블로 연결됩니다.

특징

• 중간 트래픽
• 고무 밀봉, 아날로그 회로용 MFC
• 분류기가 잘 막히지 않음
• DB15형 전기 플러그, 국제 표준 기계식 커넥터

D07-9 품질 트래픽 컨트롤러/유량계기술 매개변수

유형	D07-9E 모델	D07-9EM형	D07-9F 유형	D07-9FM型
트래픽 사양	(0~20,30,50,100,150,200,250) SLM	(0~20,30,50,100,150,200,250) SLM	0~20,30,50,100,150,200,250 SLM	0~20,30,50,100,150,200,250 SLM
정확도	±2 % F.S.	±2 % F.S.	±2% F.S.	±2 % F.S.
선형	±1 % F.S.	±1 % F.S.	±1% F.S.	±1 % F.S.
반복 정밀도	±0.2 % F.S.	±0.2 % F.S.	±0.2% F.S.	±0.2 % F.S.
응답 시간	(1 ~ 4) 초	(1 ~ 4) 초	≤ 4sec	≤4 초
작업 압차 범위	20, 30 SLM: (0.05 ~ 0.30) MPa (7.3 ~ 43.5 psid) 50,150 SLM: (0.10 ~ 0.30) MPa (14.5 ~ 43.5 psid) 200,250 SLM: (0.15 ~ 0.30) MPa (21.8 ~ 43.5 psid)	-	20,30 SLM: (0.05~0.30) MPa (7.3~43.5 psid) 50~150 SLM: (0.10~0.30) MPa (14.5~43.5 psid) 200,250 SLM: (0.15~0.30) MPa (21.8~43.5 psid)	-
기압강하	-	20~100SLM: <0.02 MPa (2.9 psid); > 100SLM: <0.05 MPa (7.3 psid)	-	20~100SLM: <0.02 MPa (2.9 psid); > 100SLM: <0.05 MPa (7.3 psid)
최대 작업 부담	1개의 MPa	1개의 MPa	1개의 MPa	1개의 MPa
내압	3 MPa (435.1 psig)	3 MPa (435.1 psig)	3 MPa (435.1 psig)	3 MPa (435.1 psig)
작업 환경 온도	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5℃ ~ 45℃	5 ℃ ~ 45 ℃
입출력 신호	0 V ~ +5.00 V (입력 임피던스는 100K 이상, 출력 전류는 3mA 미만)	0 V ~ +5.00 V (입력 임피던스는 100K 이상, 출력 전류는 3mA 미만)	4~20mA 또는 1~5VDC	4~20mA 또는 1~5VDC
전원	+ 15 V 50 mA -15V 400mA	+ 15 V 50 mA -15 V 50 mA	24VDC 400mA	24 VDC 100 mA
무게	2.6 킬로그램	1.5 킬로그램	2.6 킬로그램	1.5 킬로그램

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