D07-7 질량 유량 컨트롤러/유량계

협상 가능업데이트02/09

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제조업체의 성격: 생산자

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개요

D07-7 질량유량제어기/유량계는 열식 질량유량계로 질량유량제어기는 각종 기체를 측정하고 제어하는 데 응용할 수 있으며 측정 외에 기체의 질량유량도 정밀하게 제어할 수 있으며 질량유량계(MFM)는 기체의 질량유량을 정밀하게 측정할 수 있다.D07-7 제품은 칠성류량계의 기초제품으로서 고객의 류량측정통제의 기본수요를 만족시킬수 있다.

제품 정보

질량 유량 컨트롤러(Mass Flow Controller는 MFC로 약칭)는 가스의 질량 유량을 정밀하게 측정하고 제어하는 데 사용됩니다.그들은 반도체와 집적회로공업, 특수재료학과, 화학공업, 석유공업, 의약, 환경보호와 진공 등 여러가지 분야의 과학연구와 생산에서 중요한 응용을 갖고있다.그 전형적인 응용 장소는 확산, 산화, 외연, 전자 공예 설비를 포함한다.CVD、플라스마 부식, 사출, 이온 주입;및 도금설비, 광섬유정련, 미반응장치, 혼합가스배기시스템, 모세관측정, 기상크로마토그래프 및 기타 분석기구.

D07-7 질량 유량 컨트롤러/유량계정밀도가 높고 중복성이 좋으며 응답속도가 빠르고 소프트시동이 가능하며 안정적이고 믿음직하며 작업압력범위가 넓은 등 특징(고압 또는 진공조건에서 작업할수 있다.) 이 있어 조작사용이 편리하고 임의의 위치에 설치할수 있으며 컴퓨터와 련결하여 자동제어를 실현하기 편리하다.D07 시리즈 품질 트래픽 컨트롤러는 일반적으로 D08 시리즈 트래픽 표시기와 같은 제품과 함께 사용되며 컨트롤러와 표시기 사이에는 전용 케이블로 연결됩니다.

특징:

• 고무 밀봉, 아날로그 회로용 MFC

• 파이프 분류, 긴 수명

D07-7 질량 유량 컨트롤러/유량계기술 매개 변수:

번호	유형	D07-7K는型	D07-7B형	D07-7C형	D07-7CM형
1	트래픽 사양	(20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0~1,2,3,5,10) SLM	(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0~1,2,3,5,10) SLM	(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0~1,2,3,5,10) SLM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0~1,2,3,5,10) SLM
2	정확도	±1 % F.S	±1.5 % F.S	±1.5 % F.S	±1.5 % F.S
3	선형	±1 % F.S	±1 % F.S	±1 % F.S	±1 % F.S
4	반복 정밀도	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S
5	응답 시간	전기 특성: 10 sec; 가스 특성: ≤ 4 sec	전기 특성: 10 sec; 가스 특성: ≤ 4 sec	전기 특성: 10 sec; 가스 특성: ≤ 4 sec	10 초
6	기압강하	ˉ	ˉ	ˉ	<0.01 MPa>
7	작업 압차 범위	(0.1 ~ 0.5) MPa	(0.1 ~ 0.5) MPa	(0.1 ~ 0.5) MPa	<0.01 MPa>
8	온도계수	영: ≤±0.1% F.S./℃; 범위: ≤±0.2% F.S./℃;	ˉ	ˉ	ˉ
9	최대 작업 부담	1개의 MPa	1개의 MPa	1개의 MPa	1개의 MPa
10	내압	3개의 MPa	3개의 MPa	3개의 MPa	3개의 MPa
11	작업 환경 온도	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃
12	입출력 신호	0 V ~ +5.00 V (입력 임피던스는 100K 이상, 출력 전류는 3mA 미만)	0 V ~ +5.00 V (입력 임피던스는 100K 이상, 출력 전류는 3mA 미만)	0 V ~ +5.00 V (입력 임피던스는 100K 이상, 출력 전류는 3mA 미만)	0 V ~ +5.00 V (입력 임피던스는 100K 이상, 출력 전류는 3mA 미만)
13	전원	+ 15 V 50 mA; -15V 200mA	+ 15 V 50 mA; -15V 200mA	+ 15 V 50 mA; -15V 200mA	+ 15 V 50 mA -15 V 50 mA
14	무게	1.1 킬로그램	1.1 킬로그램	1.1 킬로그램	0.92 킬로그램

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