임계점 건조 설비

임계점 건조 설비원터치 전자동, 건조 + 세척 일체형 프로세스 오픈

내장된 스마트 프로그램으로 유체 주입, 압력 균형에서 배기에 이르는 전 과정을 커버하여 클릭 한 번으로 시작하면 결과를 조용히 기다릴 수 있습니다. 모든 데이터는 생산 실행 시스템 (MES) 에 원활하게 도킹되어 웨이퍼에서 데이터로 추적 가능합니다.

삼중 연쇄 방호, 안전 비타협

임계점 건조 설비기계 안전 밸브, 전자 경보, 프로그램 상호 잠금 3중 독립 안전 시스템을 갖추어 조작 인원과 실험실 환경의 안전을 확보한다.