CYG513 얇은 압력 센서

CYG513형 박형압력센서는 공기동력학 연구에서 풍동 중 시험모형 표면압력장 분포를 위해 설계됐다.그것은 특히 모형이 매우 얇아서 구멍을 뚫어 마이크로 프로브형 센서를 설치할 수 없는 응용 작업 상황에 적합하다.매우 얇은 센서를 직접 부착하거나 얕은 구덩이를 파서 모형 표면에 평평하게 붙여 설치한다.매우 얇은 전용 플렉시블 지시선을 모델 표면에 직접 부착할 수 있습니다.그러므로 그것은 기본적으로 피측류장에 영향을 주지 않는다.

CYG513의 압력 민감 부품은 첨단 MEMS 기술로 설계 및 제조되었습니다.3차원 집적, 양면 가공의 실리콘 압력 저항 압력 민감 소자는 우수한 선형 정밀도, 이온 주입, 정밀 광각 기술로 제작된 휘스턴 응변 브리지의 높은 일치성은 매우 작은 온도 표류, 체미 기계 가공, 정밀 각방향 이성 부식 및 실리콘-유리 양극 결합 기술로 실리콘 박막의 민감 구조는 매우 높은 민감도, 매우 우수한 안정성, 매우 우수한 동적 성능과 동시에 비교적 얇은 두께를 가지고 있다.종합적인 민감성 구조와 라이닝 보강 구조의 총 두께는 0.9mm에 불과해 최종 크기가 얇은 얇은 센서를 얻는 데 유리하다.

CYG513은 표압 측정 모드이며 표준 압력 측정은 2, 5, 10, 25, 40, 60, 100, 160, 250, 400, 600, 1000kpa

CYG513의 외형은 얇은 둥근 단추식입니다.최소 지름은 f 10mm, 두께는 4mm이며, 참고압력은 뒷면 개구부 인출(513G)이나 측면 인라인 부위 모세관 인라인(513D), 인라인 5선 플렉시블 전선, 길이 1m, 1m 종점 부위 PCB판으로 만든 전교 보상 평형기를 연결할 수 있으며, 플렉시블 전선의 두께는 0.15mm, 너비는 4mm(2.5mm) 케이블도 사용할 수 있다.

CYG513은 민감한 부품의 뒷면으로 압력을 받기 때문에 우수한 매체 호환성을 가지고 있으며 수류 역학적 용도로도 사용할 수 있다.그것은 상당히 넓은 작업 온도 구역과 매우 우수한 동적 주파수 특성을 가지고 있으며, 낮은 주파수에서 0 주파수, 높은 수만 헤르츠 주파수 대역에서 사용할 수 있다.

1. 성능 지표 매개 변수

2. 전체 출력: 최소값 30mv 일반값 80mv 최대값 130mv

3. 입출력 임피던스: 최소값 3k일반값 5k최대값 7k

4. 입력 작업 전류: 1mA(항류원)

5. 작업온도범위: -55 ℃~120 ℃

6, 보상 온도 범위: -10 ℃ ~ 80 ℃

7. 과부하 능력: 정격 양정의 200%

8. 가속도 감도: <0.001% FS/g

9. 외형 크기도: