CYG511 얇은 압력 센서

CYG511형 박형압력센서는 공기동력학 연구에서 풍동 중 시험모형 표면압력장 분포를 위해 설계됐다.그것은 특히 모형이 매우 얇아서 구멍을 뚫어 마이크로 프로브형 센서를 설치할 수 없는 응용 작업 상황에 적합하다.매우 얇은 센서를 직접 부착하거나 얕은 구덩이를 파서 모형 표면에 평평하게 붙여 설치한다.매우 얇은 전용 플렉시블 지시선을 모델 표면에 직접 부착할 수 있습니다.그러므로 그것은 기본적으로 피측류장에 영향을 주지 않는다.

CYG511의 압력 민감 부품은 첨단 MEMS 기술로 설계 및 제조되었습니다.3차원 집적, 양면 가공의 실리콘 압력 저항 압력 민감 소자는 우수한 선형 정밀도, 이온 주입, 정밀 광각 기술로 제작된 휘스턴 응변 브리지의 높은 일치성을 가지고 있어 매우 작은 온도 표류, 체미 기계 가공, 정밀 각방향 이성 부식 및 실리콘 실리콘 직접 결합 기술로 실리콘 박막의 민감 구조는 매우 높은 민감도, 매우 우수한 안정성, 매우 우수한 동적 성능과 동시에 초박막 두께를 가지고 있다.이는 종합적인 민감구조와 안감보강구조의 총두께가 0.6mm에 불과하여 더욱 얇은 최종치수의 얇은 형센서를 획득하는데 더욱 유리하다.

CYG511은 절압 측정 모드이며 표준 압력 측정은 100, 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500, 4000kpa이다.

CYG511의 외형은 얇은 둥근 단추식입니다.공칭 직경은 f 8mm, 두께는 2.2mm, 인출선은 5선 플렉시블 전선으로 길이는 1m이며, 1m 종점에 PCB 판으로 만든 브리지 보상 이퀄라이저를 연결하면 플렉시블 전선의 두께는 0.15mm, 너비는 4mm이다.

CYG511은 민감한 소자로 정면으로 압력을 받기 때문에 부식성이 전혀 없고 전도성이 없는 건조가스에 적용된다.상당히 넓은 작업 온도 영역과 매우 우수한 동적 주파수 특성을 가지고 있으며, 낮은 주파수에서 0 주파수, 높은 주파수에서 수천 헤르츠 주파수 대역까지 사용할 수 있다.미디어 요소가 복잡하고 수분 함량이 높은 경우 표면 및 전극을 보호하는 CYG511S(유기 실리콘 겔은 동적 주파수 성능을 저하시킵니다)를 사용하여 유기 실리콘 겔을 덮을 수 있습니다.박막 유기 재료를 사용하여 보호를 커버하는 제품 CYG511P는 보호막의 두께가 um급이기 때문에 동적 주파수에 대한 손실이 비교적 적고 특제 주기가 비교적 길며 비교적 많은 원가가 증가한다.

1. 성능 지표 매개 변수:

2. 전체 출력: 최소값 30mv 일반값 80mv 최대값 130mv

3. 입출력 임피던스: 최소값 3k일반값 5k최대값 7k

4. 입력 작업 전류: 1mA(항류원)

5, 작동 온도 범위: -55 ℃~+120 ℃

6, 보상 온도 범위: -10 ℃~+80 ℃

7. 과부하 능력: 정격 양정의 200%

8. 가속도 감도: <0.001% FS/g

9. 외형 크기도: