CYG503、504 마이크로 압력 센서

규격 외경 3mm의 마이크로 압력 센서 CYG503은 공기 역학 연구 시험에서 설치 크기가 작고 유장을 교란하지 않으며 우수한 동적 압력 분포 측정에 동적으로 응답하도록 특별히 설계되었다.엔진의 흡기구 압력 기변, 천진 등과 같은 공기 동력학적 성능 측정에 응용된다.

CYG503의 압력 민감 소자는 첨단 MEMS(Miro Electronic Machinical Systems) 기술로 설계 및 제조된다.3차원 집적, 양면 가공의 실리콘 압력 저항 압력 민감 소자는 우수한 선형 정밀도, 이온 주입, 정밀 광각 기술로 제작된 휘스턴 응변 브리지의 높은 일치성으로 인해 매우 작은 온도 표류, 체미 기계 가공, 정밀 각방향 이성 부식으로 형성된 실리콘 박막 민감 구조는 매우 높은 압력 민감도와 1.5mm 이하의 지름 척도를 가지게 한다.선진적인 미형화된 압력민감칩은 무응력포장기술을 채용하여 밀봉봉하여 특제의 미형설치기단과 스테인리스강모세관에 봉인한다.절압형 센서 참조 압력강은 칩 뒷면에 밀봉된 진공강이며, 표압형 센서의 참조 압력강은 더 가는 스테인리스강 모세관을 통해 뒷면에서 대기와 소통한다.또한 사용자가 안정적인 압력 참조를 얻기 위해 세나일론관으로 기압 안정처로 유인하는 것을 편리하게 한다.

CYG503A 절압형 마이크로 압력센서는 탐침형으로 표준 외경 F3.5mm, 길이 18mm이며, 특수 제작된 단기둥형 CYG503AS는 길이를 12mm로 줄였다. 옵션 양정은 100, 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500, 4000kpa 절대압력이다.

CYG503G 표압형 마이크로 압력센서는 탐침형, 표준 외경 F3.5mm, 길이 18mm, 배압 인출 모세관 길이 12mm다. 선택사양은 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500kpa 표압이다.

CYG503의 디자인 제작 특허는 이미 국가 발명 특허 수권을 받았고 특허 번호는:.3이다.

CYG504 마이크로볼트 장착형 압력센서는 일부 사용자가 요구하는 CYG503을 편리하게 사용할 수 있도록 하기 위한 파생품종으로 절압, 표압 모두 가능하다.그것의 외형 크기는 부도 참조.

CYG503、504형 센서는 민감한 부품으로 정면으로 압력을 받기 때문에 매체가 부식성이 없고 전도성이 없는 건조기체에만 적용된다.그러나 그것은 상당히 넓은 작업 온도 구역과 매우 좋은 동적 주파수를 가지고 있다.사용 가능한 동적 주파수 음향은 0에서 수천 헤르츠까지 낮습니다.표면에 코팅 보호 기능이 추가되면 미디어 적용 능력이 향상되지만 주파수 특성을 희생하는 대가가 따릅니다.

1. 성능 지표 매개 변수

2. 전체 출력: 최소값 30mv 일반값 80mv 최대값 130mv

3. 입출력 임피던스: 최소값 3k일반값 5k최대값 7k

4. 입력 작업 전류: 1.5mA(표압형) 1mA(절압형)(항류원)

5, 작동 온도 범위: -55 ℃~+120 ℃

6, 보상 온도 범위: -10 ℃~+80 ℃

7. 과부하 능력: 정격 양정의 200%

8. 가속도 감도: <0.001% FS/g

9. 외형 크기도: