CYG502 초소형 압력 센서

치수 외경 2mm로 표시된 초미세 압력센서 CYG502는 유체역학 실험에서 더 작은 설치 치수를 요구하는 용도로 설계됐다.현재 우리 회사에서 출시한 제품 중 가장 작은 크기의 압력 센서입니다.

CYG502의 압력 민감 소자는 첨단 MEMS(Miro Electronic Machinical Systems) 기술로 설계 및 제조되었습니다.3차원 집적, 양면 가공의 실리콘 압력 저항 압력 민감 소자는 우수한 선형 정밀도를 가지고 있다.이온 주입, 정밀 광각 기술로 제작된 휘스턴 응변 브리지의 높은 일치성은 매우 작은 온도 표류를 가능하게 한다.실리콘 실리콘 직접 결합 기술, 역V형 슬롯 설계를 채용하여 칩 박막 크기를 이용할 수 있는 최적화를 실현하였고, 전체 칩 크기를 1 × 1mm 크기로 줄였으며, 출력 민감도는 여전히 100kpa의 양정에 도달할 수 있어 초미세 센서의 실현을 위해 관건적인 돌파를 이룩하였다.

기존 디자인의 실리콘-유리 결합을 실리콘-실리콘 결합으로 변경하여 열 매칭 효과를 개선하고 응력에 따른 0자리 불안정성을 줄였다.

현재 이미 출시된 품종에는 절압형 측정 모델 제품이 있으며, 표압형은 연구 제작 중이다.

CYG502A 절압형 초미세 압력 센서는 탐침형으로 표준 외경은 F2.15mm, 길이는 18mm이며 센서의 옵션 양정은 100, 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500, 4000kpa 절대압력이다.

CYG502A 절압 센서는 민감 소자 정면으로 압력을 받는다.따라서 매체가 부식성이 없고 전도성이 없는 건조기체에만 적용된다.그것은 -55 ℃ ~ + 120 ℃ 에 달하는 상당히 넓은 작업 온도 영역을 가지고 있으며, 또한 매우 우수한 고주파 동적 특성을 가지고 있으며, 가장 낮은 양정의 민감한 소자의 고유 주파수 > 200kHz, 상승 시간은 마이크로초이다.

1. 성능 지표 매개 변수

2. 전체 출력: 최소값 30mv 일반값 80mv 최대값 130mv

3. 입출력 임피던스: 최소값 3k일반값 5k최대값 7k

4. 입력 작업 전류: 1.5mA(표압형) 1mA(절압형)(항류원)

5, 작동 온도 범위: -55 ℃~+120 ℃

6, 보상 온도 범위: -10 ℃~+80 ℃

7. 과부하 능력: 정격 양정의 200%

8. 가속도 감도: <0.001% FS/g

9. 외형 크기도: CYG502A