원자층 퇴적 시스템

SAL1000G는원자층 퇴적 시스템특징:

- 다양성 -

· 진공 이동 가능한 장갑 상자는 산화하기 쉬운 샘플을 처리할 수 있다.

· 전구체에는 두 조의 밸브와 가스병이 표준으로 장착되어 있다.

· 전구체를 섭씨 200도까지 가열하는 것을 선택할 수 있다.

· 베이스 슬라이스 자동 회전 브래킷을 선택할 수 있습니다.

· 파우더 퇴적 부품을 선택할 수 있습니다.

· 비용 효율적인 배기가스 처리 장치를 선택할 수 있습니다.

- 표현-

· 기판 표면의 모든 균일한 원자층 바늘구멍의 자유층 침적을 보장한다.

· 고르지 않거나 3D 형태로 퇴적된 표면을 계단으로 덮습니다.

· CVD 및 PVD에 비해 더 나은 퇴적을 얻을 수 있으며, 특히 더 높은 종횡비와 다공성 퇴적 소재를 가진 경우.

- 작동 인터페이스 친화적 -

· 터치 스크린을 사용하면 쉽게 레시피 또는 퇴적 프로세스를 설정하고 각 드라이버의 동작을 확인할 수 있습니다.

· 자동 퇴적이 가능하며 퇴적이 완료되면 자동으로 N2 배출이 완료됩니다.

· 장갑 상자의 진공 배기 및 불활성 가스 도입도 자동으로 완료됩니다.

- 보안 -

· 다양한 상호 잠금 기능을 갖춘 고급 장치입니다.

- 부드럽게 닫기 기능이 있는 상단 해치를 통해 사용자가 쉽게 베이스 슬라이스를 마운트하고 마운트할 수 있습니다.

SAL1000G는원자층 퇴적 시스템기술 매개 변수: