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장양로 1687호 서2호동 204-2호실
케고나스계기상무(상해)유한회사
장양로 1687호 서2호동 204-2호실
AC 법열 확산율 측정 시스템기술 매개 변수:
1. AC 전원: 레이저 다이오드(파장 685nm, 출력 30mW)
2. 조사위치: ±3000μm, 스텝 1μm;
3. 주파수: 0.1~20Hz
4.열확산계수 측정 정밀도:±5%
(개별 샘플 측정)
5. 시료 크기: L 30mm, W 2.5~5mm t 3~500 μm t 100~1000nm (기판의 박막)
샘플 두께의 * 값은 열전도도에 따라 다릅니다.
6.열전지 유형:E형 열전지;
7. 테스트 분위기: 진공(<0.02Pa), 대기;
8. 온도 범위: 실온(R type) 실온 - 200 ℃ (M2 type)
9. 커넥터: RS232C
10. 전원 요구 사항: AC100V, 15A;
11. 폼 팩터: W 350 x D 500 x H 330(mm) 본체, 돌출 부분 포함하지 않음;
AC 법열 확산율 측정 시스템적용:
1. 열전도도가 높은 박판의 재료의 열확산계수를 측정한다.(두께 <500μm) CVD 금강석, 질화알루미늄 등;
2. 금속 박판의 열 확산 계수를 측정한다.(두께<5μm) 구리, 니켈, 스테인리스강 등;
3.저열전도계수 재료의 열확산율을 측정한다.(두께<50μm) 유리, 수지 재료 등;
4. 각 이성의 흑연 조각의 열 확산 계수를 측정한다.(두께 <100μm) PET와 같은 폴리이미드 및 폴리머 필름;(두께<5μm)
5. 기판에 퇴적된 질화알루미늄 및 산화알루미늄 박막의 열확산계수를 측정한다.
6. 유리 기판에 퇴적된 DLC 필름의 열확산 계수를 측정한다.
7. PET 기판에 퇴적된 유기안료 박막을 측정한다.
8. 각종 사출 표적 재료를 평가한다.
※ 측정의 조건은 시료의 재료 및 물리적 성질과 변경될 수 있으며, 위에서 언급한 것은 광범위한 기준입니다.
박막의 열전도 계수를 측정하다 (시차법)
기판에 쌓인 박막의 열전도율은 기판의 같은 면의 도금구역과 비도금구역의 열확산계수를 측정하여 얻을 수 있다.박막의 열전도율에 영향을 주는 요소는 다음과 같다.
도금구역과 비도금구역의 측정결과;
기판의 두께와 체적비 열용량 측정;
박막의 두께와 그 부피는 열용량보다 크다.