2형 / 4형 저온 프로브

• 엔트리급 저온 프로브

• 액체 질소나 액체 헬륨을 사용하여 냉각할 수 있다

• 방사선 스크린의 윈도우, 샘플 시각화 작업

• 고객 플랫폼에 장착할 수 있는 스탠드가 없는 컴팩트형 데스크탑 설계

• 최대 4in의 사용자 정의 가능한 견본대(표준 2in)

• 최대 675K의 고온 샘플대 옵션

• 남경심측 인기 있는 저온 탐침대 중 하나

사양:

◆견본대: 도금 견본대

◆견본대 크기: 2인치/4인치

◆현미경: 3400만 화소 CCD 카메라

◆프로브 암: 최대 6개의 프로브 암을 장착할 수 있으며, X방향 여정: 50mm, 이동 해상도 3μm;Y, Z 방향 스트로크: 25mm, 이동 해상도 5μm

◆프로브 구성: DC 프로브, 무선 주파수 프로브, 옵티컬 프로브 옵션

◆진공 시스템: 기계식 또는 분자 펌프

◆진공도: 5×10^-3Pa(매우 저온))

◆온도 범위: 액체 질소 냉각 78K-500K, 액체 헬륨 냉각 4K-350K

◆온도 제어 정밀도: 0.1K

◆냉각 방식: 액체 질소 또는 액체 헬륨