이산화규소 농도계

HORIBA/호리장 SLIA-300이산화규소 농도계제품 상세 정보:

SLIA-300은 0.01µg/L(0.01ppb)의 높은 감도로 초저밀도 이산화규소를 측정하려는 고객의 요구를 충족하며, 반도체 생산 공정에 사용되는 초순수는 이온교환수지를 사용하여 한 걸음 더 나아갈 수 있다순화이온교환수지에서 용해된 이산화규소를 신속히 포획하면 초순수의 질량을 조절할수 있는데 이는 제조과정에 매우 중요하다.HORIBA Advanced Techno는 초저밀도 이산화규소를 고감도로 측정할 수 있는 새로운'장광 경로 길이 측정 유닛'을 개발하고 채택했으며, 컴팩트한 데스크탑 모델도 제공한다.실용성을 높이다.

이 제품은 자가 진단 등 일련의 표준 기능과 고속응답성과 고감도 등 새로운 성능 개선은 반도체 생산 공정에서 순수 공정을 더욱 강하게 지원한다.

제품 특징:

높은 감도 및 반복성

광섬유 기술을 적용하여 약 1m의 장광 경로를 확보하여 초저밀도의 고감도 응답을 실현했다.이 제품은 5 분 고속 측정 프로세스를 보장하며 0-2 µg/L 측정 범위 내에서 ± 2% F.S.의 반복 정밀도를 구현합니다.

데스크탑 모델의 컴팩트한 디자인

장광 경로 길이 측정 유닛'의 유연한 구조도 혁명적인 컴팩트한 설계를 실현했다.이 데스크탑 모델은 좁은 공간을 포함한 다양한 설치 조건에 적합합니다.

시약 소모가 1/5로 감소

시약 소모를 이전의 1/5로 줄이기 위해 반응 단위가 개선되어 측정 풀과 분리되었다.또한 측정 단위가 파이프라인 유형으로 변경되었습니다."장광 경로 길이 측정 단위" 를 사용하면 시약을 대폭 줄일 수 있다운영 비용입니다.

시약 소모 절반 이상 감소

시약의 소모를 줄일 뿐만 아니라 샘플 물의 소모도 줄였다."장광 경로 길이 측정 유닛"을 채택함으로써 값비싼 순수한 물 (샘플 물로 사용) 소비가 60% 감소했습니다.

농도계 오작동의 자가 진단 기능

샘플 물 및/또는 시약 주입, 보정 오류, 셀 내 온도 감지 및 광원 오류와 같은 오작동에 대한 자체 진단을 수행합니다.오류가 발견되면 경고등이 켜지고 텍스트 메시지가 표시됩니다.

자동 보정을 통한 뛰어난 서비스 용이성

투과광을 확인하고 탁도를 조정하기 위해 지속적으로 0점 보정을 자동으로 수행합니다.

최대 6점 측정 허용 (옵션)

최대 6개의 측정 점을 설정할 수 있습니다.단일 셀에서 다중 점 측정을 수행할 수 있습니다.

단색성 반도체 광원을 사용하여 안정적인 광량과 더 긴 수명을 제공합니다.

장광 경로 길이 측정 유닛: 0.01 µg/L로 낮음 감지 가능

측정 단위는 투광 불소 탄소 수지 파이프가 스테인리스 강관을 통과하는 이중 구조입니다.탄화수소 튜브와 주변 공기 사이의 굴절률 차이로 인해 파이프라인 한쪽에서 들어오는 빛이 다른 쪽에 도달하기 전에 파이프라인에서반복 반사.

이러한 광전송 메커니즘은 광섬유의 효율과 저차단 원리의 응용으로 더욱 높은 검측 민감도와 높은 중복성을 실현하였다.

이 장광 경로 측정 유닛은 유연한 파이프라인 구조를 사용하여 크기가 컴팩트합니다.1m에 달하는 셀을 데스크탑 컴팩트 본체에 저장함으로써 이전 세대 모델의 1/8로 셀 크기를 줄이는 데 성공했다.또한 이 측정 단위의 파이프라인 구조는 작동 비용을 효과적으로 낮출 수 있습니다. 발색제와 샘플 물의 소비는 각각 이전 양의 1/5과 1/2로 감소합니다.

HORIBA/호리장 SLIA-300이산화규소 농도계의 제품 매개 변수: