세이머페이 Surf-Cal 미립자 크기 표준품(건조)

협상 가능업데이트05/06

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온라인 상담

개요

구체적인 화물 기한은 문의하시기 바랍니다.Surf-Cal 미립자 크기 표준품 (건조) 인 싸이머페이는 공장 내 웨이퍼 교정 준비를 간소화할 수 있습니다.제공할 수 있는 미립자 크기는 기기 생산자가 요구하는 교정점 크기와 일치한다.

제품 정보

제품 소개

세이머페이 Surf-Cal 미립자 크기 표준품(건조)공장에서 웨이퍼 교정 준비를 단순화할 수 있습니다.제공할 수 있는 미립자 크기는 기기 생산자가 요구하는 교정점 크기와 일치한다.
특별히 선택된 웨이퍼에 Surf-Cal 시리즈 NIST 추적 폴리스티렌 미립자를 배치하면 정기적인 교정 검사를 수행하고 스캐너를 다른 곳의 스캐너와 비교할 수 있습니다.

측정 방법

NIST로 직접 거슬러 올라갈 수 있도록 이들 제품이 인증받은 직경은 전자현미경을 투사하거나 광학현미경이 NIST 표준 참고물질 2에서 옮겨져 얻은 것이다.불확정도는 NIST 기술 주석 1297, 1994 버전 - NIST 측정 결과의 불확정도를 평가하고 표현하는 도칙 3에 따라 계산됩니다.공인인증서에 표시된 불확정도 값은 오버레이 비율 2(K=2)로 확장된 불확정도입니다.

피크 지름은 미립자 크기 분포 ± 2s 범위로 계산된다.계산된 치수 분포는 피크의 표준 오프셋 그래프로 사용됩니다.변이 계수는 표준 차와 피크 지름의 백분율입니다.FWHM 분포는 반피크가 높은 분포가 피크 지름의 백분율을 차지하여 계산한 것이다.

기술 매개변수

세이머페이 Surf-Cal 미립자 크기 표준품(건조)

성분	폴리스티렌
밀도	1.05 g/cm3
굴절 지수	1.59 @ 589 nm (25°C)
첨가제	없음

인증된 피크 지름	확장 불확정도 (피크 지름의)	SD는	크기 분포 CV %	FWHM %	병 규격	상품번호(미립자/mL)
인증된 피크 지름	확장 불확정도 (피크 지름의)	SD는	크기 분포 CV %	FWHM %	병 규격	3 x 10⁸	10¹⁰
0.047 μm의	0.002의 μm	0.004의 μm	7.5%	17.4%	50ml	PD-047은	PD-047B는
0.064의 μm	0.002의 μm	0.003의 μm	5.4%	10.9%	50ml	PD-064는	PD-064B는
0.083 μm의	0.002의 μm	0.004의 μm	4.2%	9.6%	50ml	PD-083는	PD-083B는
0.092의 μm	0.005 μm	0.004의 μm	4.6%	9.1%	50ml	PD-092는	PD-092B
0.100 μm의	0.005 μm	0.004의 μm	2.6%	5.2%	50ml	PD-100은	PD-100B는
0.126 μm	0.006의 μm	0.003의 μm	2.4%	4.8%	50ml	PD-125는	PD-125B는
0.155 μm의	0.003의 μm	0.003의 μm	1.6%	3.7%	50ml	PD-155	PD-155B는
0.202 μm	0.005 μm	0.004의 μm	1.8%	4.0%	50ml	PD-200은	PD-200B는
0.204 μm	0.008의 μm	0.004의 μm	1.8%	3.7%	50ml	PD-204	PD-204B는
0.220 μm의	0.007의 μm	0.003의 μm	1.6%	3.3%	50ml	PD-215는	PD-215B는
0.304 μm	0.005 μm	0.004의 μm	1.4%	3.4%	50ml	PD-305는	PD-305B는
0.360μm	0.013의 μm	0.010 μm의	2.0%	5.0%	50ml	PD-365는	PD-365B는
0.498 μm의	0.010 μm의	0.006의 μm	1.1%	2.5%	50ml	PD-500은	PD-500B는
0.809의 μm	0.014 μm의	0.006의 μm	0.8%	1.8%	50ml	PD-800은	PD-800B는
0.802의 μm	0.011의 μm	0.009의 μm	1.1%	2.4%	50ml	PD-802는	PD-802B는
1.112 μm의	0.018 μm의	0.011의 μm	1.0%	2.5%	50ml	PD1100은	PD1100B는
1.59 μm의	0.02 μm의	0.016의 μm	1.0%	2.6%	50ml	PD1600은	--
2.01 μm의	0.04 μm의	0.019의 μm	1.0%	3.3%	50ml	PD2000는	--
3.04 μm의	0.06 μm의	0.026의 μm	0.9%	2.7%	50ml	PD3000은	--

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