새로운 MFC 제품 5월 20일 만나요

칭다오 심생은 최근 여러 종류의 가스 품질 유량계와 품질 유량 컨트롤러 제품을 출시하여 MEMS 칩에서 유량 검측 계기와 알고리즘에 이르는 전체 체인 핵심 기술을 성공적으로 뚫어 칭다오시에서 MEMS 핵심 칩 기술을 보유한 몇 안 되는 하이테크 기업 중의 하나가 되었다.

국가가 국산 기기와 반도체 설비에 대한 중시와 지원에 따라 국내 분석 기기 산업, 반도체 장비 산업은 빠른 발전을 이루었다.분석기기와 반도체 장비의 핵심 부품인 가스품질유량계/컨트롤러는 현재도 수입 위주로 국산화 대체 수요가 절실하다.전통적인 차압, 터빈 등 원리의 체적형 유량계와 달리 MEMS 가스 품질 유량계는 온도와 압력 등 환경 매개변수의 영향을 받지 않는 열전도 원리에 기초하여 가스 품질 유량을 고정밀하게 측정한다.

청도 심생 S500 시리즈 가스 품질 유량 컨트롤러, *의 기체 유도 설계를 가지고 있으며, 유연한 분류비 배치를 실현할 수 있으며, 측정 거리는 1sccm~120slm를 커버하고, 최소 제어 정밀도는 0.1sccm이며, 0~50 ℃ 온도 범위 표류량은 0.4~0.6% 에 불과하다.전기신호 방면에서는 다양한 디지털 및 아날로그 제어 방식을 제공하고 공업급 디스플레이를 장착하여 고객이 현장에서 쉽게 디버깅하고 배치할 수 있도록 한다.