CSEAC 2026 현장 직격: 순경 과학 기술 전자 소스, 이온 소스 제품 매트릭스 주목

2026년 8월 31일부터 9월 2일까지 제14회 반도체설비재료 및 핵심부품전 (CSEAC 2026) 이 무석 태호에서 성대하게 개최되였다.이번 전시회는 전시면적이 7만평방메터를 돌파하고 1300개가 넘는 국내외 기업이 집결되여 반도체설비, 재료 및 핵심부품분야의 기술성과를 집중적으로 전시했다.

많은 별들이 운집한 전시회 현장에서 상하이 순경과학기술유한공사 (이하'순경과학기술') 는 많은 관심의 초점 중의 하나가 되었다. 입자빔의 핵심원 부품에 집중하는 이 하드과학기술기업은 여러 가지 자체 개발한 전자원, 이온원 제품을 가지고 CSEAC에 모습을 드러내어 업계에 반도체량 검측설비의 핵심부품 분야에서의 중국의 자주적인 돌파를 보여주었다.

순경과학기술은 미시립자발사핵심기술을 깊이 갈고 여러가지 국외에서 장기적으로 독점하는"목막힘"공법을 돌파하는 동시에 전자원, 이온원, 마이크로초점 X선원 전계보의 자주연구개발과 양산능력을 갖추었다.제품의 핵심 성능은 국제 브랜드를 표시하여 주류 수입 선글라스, 검측 설비의 빈틈없는 교체를 실현할 수 있으며, 과학 연구, 반도체 정밀 검측, 나노 마이크로 나노 가공, 공업 무손실 검측 등 분야에 광범위하게 서비스된다.

전자원 (렌즈 코어 송신 광원)：전체 링크 자율 제어 가능，안정성과 내구성이 뛰어나다

전자원 (렌즈 코어 송신 광원)

회사의 전자원 제품은 텅스텐 필라멘트, 6붕소화 란탄 (Lab ₆), 쇼트키장 발사 3대 품목을 포함한 전체 계도 모델을 커버한다;련속 안정적인 사용수명 ≥ 8000h, 극히 낮은 속반표류특성을 구비하고 장시간 운행영상에 뚜렷한 편차가 없으며 속류균일성, 에네르기색산지표는 모두 수입동종제품표준에 도달한다.

전자원 전체 링크는 자주적으로 통제할 수 있으며, 단결정 원료 정제, 바늘 끝 정밀 가공에서 완제품 포장 전 과정 자체 연구 및 자체 생산에 이르기까지 해외 기술 의존에서 벗어난다;안정성과 내구성이 뛰어나고 교대팀의 핵심공예에 의거하여 오염방지능력이 강하고 속류가 순수하고 안정적이며 장기련속작업표류량이 극히 낮아 공업량산과 장기과학연구실험에 적합하며맞춤형 능력이 강하여 비표준 설비, 특수 실험 수요에 따라 파라미터 적합과 구조 맞춤형을 진행할 수 있다;넷째, 높은 호환성, 차이스, 히타치, 일본전자, 싸이머페이 등 전계 주류 수입 선글라스 설비에 전면적으로 적합하여 비행기에 탑승하면 바로 사용할 수 있고 빈틈없이 교체할 수 있으며 설비 운송 원가를 대폭 낮춘다.

전자원은 고해상도 미시적 형상 관측, 재료 마이크로존 성분 분석, 반도체 웨이퍼 결함 검측, CD-SEM 핵심 사이즈 측정, 전자빔 광각, 나노 재료 표징 등 장면에 광범위하게 응용되며, 대학교 과학연구소, 재료 기업, 반도체 제조 업체의 정밀 표징 수요에 적합하며, 이미 국내 여러 과학 연구 기관, 헤드 반도체 기업의 양산 설비 검증을 실현하였다.

이온 소스(FIB 마이크로 나노 가공 핵심 부품)：정밀도가 높고 불순물이 차지하는 비중이 낮으며 안정성이 있다하다

이온 소스(FIB 마이크로 나노 가공 핵심 부품)

　

순경과학기술이 자체 개발한 액상갈륨 (Ga) 이온원은 초점이온빔시스템 (FIB, FIB-SEM) 의 핵심 핵심 부품이다.그 원리는 저융해점, 저증기압의 고순도 액체 갈륨을 발사 매체로 이용하여 정밀 모세관을 통해 텅스텐 단결정 바늘 끝으로 수송하여 고압 전장 작용하에 안정적인 테일러 송곳 구조를 형성하여 액체 금속의 고효율 이온화를 유도하고 고초점, 고순도의 갈륨 이온 빔을 지속적으로 발사하는 것이다.팀이 공략한 액체금속의 안정적인 침윤, 바늘끝의 정밀성형, 전장의 균일한 조절통제핵심기술에 의거하여 이온빔의 장시간 안정적인 발사를 실현하고 미시영상과 물리사출각식의 이중기능을 고루 돌보아야 한다.

이온원은 넓은 구간의 빔류 제어 특성을 갖추고 있어 고정밀 영상과 큰 사이즈의 부식 이중 수요에 적합하다;이온 빔은 초점 정밀도가 높고, 빔 반점이 작으며, 불순물이 차지하는 비중이 매우 낮고, 발사 안정성이 우수하며, 연속 작업은 뚜렷한 빔 흐름 감쇠가 없다;바늘끝의 사용수명이 길고 폭격저항능력이 강하며 핵심안정성, 수명매개변수는 국제수입동종제품을 표시하여 장기적인 정밀가공수요를 만족시킬수 있다.

이온원은 액체 금속의 침윤 불균등, 빔 흐름 표류, 발사 실효 등 업계 통점을 돌파하여 이온 빔의 순도가 높고 초점성이 좋으며 중복성이 우수하다;자체 양산 공정이 성숙되고 제품 일치성이 높으며 양품률이 안정적입니다.장비 호환성이 높아 주류 상업용 FIB, FIB-SEM 듀얼 빔 시스템에 적합하며 수입 부품의 원활한 교체를 지원합니다.동시에 비표준 파라미터 맞춤형 제작을 지원하여 특수 마이크로 납 가공 장면에 맞추어 속류 파라미터를 최적화하여 수입 제품의 적합성이 떨어지고 맞춤형 제작이 어렵고 화물 기간이 긴 업계 난제를 해결할 수 있다.

주로 반도체 칩의 미시적 복원, 나노 부품의 정확한 각식과 퇴적, 렌즈 초박형 샘플 절편, 재료 미시적 결함 분석, 마이크로 나노 구조 제조, 원자 탐침 샘플 제조 등 정밀 마이크로 나노 가공 장면에 사용되며, 나노 제조, 반도체 선진 공정, 첨단 재료 과학 연구의 핵심 핵심 부품이다.

순경과학기술은 상해교통대 핵심과학연구축적에 의탁하여 전자원, 이온원, X선원 삼위일체의 립자속원제품행렬을 구축하기 시작하였고 세가지 류형의 제품핵심기술은 동원, 공예체계가 서로 통하여 모두 순방향 자체연구와 규모화 량산을 실현하였다.회사의 전 계열 부품은 성능 표적 수입, 호환성 강, 맞춤형 제작, 높은 가격 비율, 납품 속도, 애프터서비스 완비의 종합 우세를 갖추고 반도체, 신소재, 고급 장비, 최전방 과학 연구 등 전략 산업의 국산화 업그레이드를 전면적으로 부여한다.

전시회기간에 과학연구, 반도체정밀검측, 나노마이크로나노가공, 공업무손상검측 등 여러 분야에서 온 여러명의 전문관중들이 직접 순경과학기술부스에 와서 시찰하고 소통하면서 회사가 이룩한 돌파에 대해 고도로 긍정했다.국내 반도체 물량 검사 장비, 전자빔 광각 장비 등 세분화된 트랙이 부상하면서 고성능 전자원에 대한 수요가 지속적으로 방출될 것으로 보인다.순경과학기술은 이번에 CSEAC 2026에 모습을 드러냈는데 이는 핵심립자속원부품분야에서의 기술축적과 양산능력을 과시했을뿐만아니라 더우기는 업종에 반도체산업사슬의 관건적인 고리에서 국산력량이 재빨리 궐기하고있다는 명확한 신호를 전달했다.