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청정도 등급 기준
날짜:2013-06-18읽기 :0

청정도 등급 기준

ISO 14644의부유 입자 농도라는 * 지표에 따라 청정실 (구역) 및 관련 통제 대상 환경에서의 공기 청정도 등급을 구분하며, 입경 제한값 (낮은 제한) 만 고려한다0.1um~5.0um범위 내에서 누적 분포를 보이는 입자군.

입자 지름에 따라 일반 입자 (0.1um~5.0um), 초미세입자(<0.1um) 및 매크로 입자 (>5.0um)。

공기 청정도 등급 기준:ISO14644-1의(표준)

공기 청정도 등급 (N)

표시된 입자 지름보다 크거나 같은 입자 zui 대농도 제한값 (개/입방미터당 공기 입자)

0.1의 um

0.2의 um

0.3의 um

0.5um

1um

5개의 µm

ISO 클래스 1

10

2

ISO 클래스 2

100

24

10

4

ISO 클래스 3

1 000

237

102

35

8

ISO 클래스 4

10 000

2 370

1 020

352

83

ISO 클래스 5

100 000

23 700

10 200

3 520

832

29

ISO 클래스 6

1 000 000

237 000

102 000

35 200

8 320

293

ISO 클래스 7

352 000

83 200

2 930

ISO 클래스 8

3 520 000

832 000

29 300

ISO 클래스 9

35 200 000

8 320 000

293 000

주: 측정 과정의 불확실성과 관련되기 때문에 세 개의 유효한 농도 숫자를 초과하지 않고 등급 수준을 확정해야 한다.

공기 청정도 등급 기준:GB/T16292-1996의(중국 표준)

입경, 수치 청정도 수준

먼지zui 큰 허용수/입방미터

미생물zui 대허용수

≥0.5um

≥5um

부유균/입방미터

침강균/그릇

100 수준

3,500

0

5

1

10,000수준

350,000

2,000

100

3

100,000수준

3,500,000

20,000

500

10

300,000수준

10,500,000

60,000

—

15

영국 5295 표준 클린룸 및 공기 정화 장치 등급:

공기 청정도 등급 (N)

표시된 입자 지름보다 크거나 같은 입자 zui 대농도 제한값 (개/입방미터당 공기 입자)

0.3um의

0.5um

5um

10um

25 um

C

100

35

0

D

1000

350

0

E

10000

3500

0

F

3500

0

G

100000

35000

200

0

H

35000

200

0

J

350000

2000

450

0

K

3500000

20000

4500

500

L

200000

45000

5000

M

450000

50000

다양한 표준 비교:

미국 연방

미국 연방

영국 표준

호주 표준

프랑스 표준

독일 표준

표준

일본 표준

표준 209D는

표준 209E는

BS5295는

AS1386는

AFNORX44101은

VDI2083는

14644-1

JACA24는

1

1

—

0

2

2

1

M1.5의

C

0.035

—

1

3

3

10

M2.5의

D

0.35

—

2

4

4

100

M3.5의

E

3.5

4000

3

5

5

1000

M4.5의

G

35

—

4

6

6

10000

M5.5의

J

350

400000

5

7

7

100000

M6.5의

K

3500

4000000

6

8

8

M

7

9

—