에서高真空환경 하에서 저항 가열 또는 전자빔 폭격을 통해도금 재료 (증발원)기화, 증기는 기판 표면에서 응축되어 박막을 형성하고,열증발, 전자빔증발, 진공도금, 박막침적,PVD、도금 재료