KLA 옵티컬 프로파일러칼슘 티타늄 광전지에서 반도체로 제조된 초박막 두께 측정에서 고정밀도, 비접촉식 측정 및 다기능성으로 핵심 도구가 되었으며 구체적으로 다음과 같이 적용됩니다.

1. 칼슘 티타늄 태양 전지 중의 초박막 두께 측정

TCO 레이어 측정:

중요성: TCO 층은 칼슘 티타늄 태양 전지의 중요한 구성 부분으로 전기 전도 성능이 좋은 상황에서 높은 투과율, 낮은 저항 및 높은 열 안정성을 가져야합니다.

측정 사례: KLA 옵티컬 프로파일러를 사용하여 6.8nm 및 37.1nm 샘플과 같은 유리에 있는 IZO 필름의 두께를 정확하게 측정할 수 있습니다.

ETL 레이어 측정:

중요성: ETL 층은 칼슘 티타늄 태양 전지에서 전자를 수집하고 전자를 전송하며 빈 구멍을 차단하여 전자 빈 구멍의 복합률을 낮추는 등 중요한 역할을 한다.그 평평도와 평활도는 칼슘 티타늄 광층의 질량에 직접적인 영향을 미친다.

측정 사례: KLA 옵티컬 프로파일러는 10.2nm, 14.3nm, 19.6nm와 같은 유리상의 SnO2 필름의 두께를 측정하여 ETL 레이어의 두께와 균일성을 모니터링하는 효과적인 수단을 제공합니다.

금속 전극층 측정:

중요성: 금속 전극층은 칼슘 티타늄 태양 전지의 최상층이며, 그 공정 두께와 균일성의 제어는 원가를 낮추고 배터리 성능을 향상시키는 데 매우 중요하다.

측정 사례: KLA 옵티컬 프로파일러를 사용하여 15.0nm, 28.0nm, 49.8nm 및 71.1nm 샘플과 같은 유리상의 금속 알루미늄 필름의 두께를 측정 할 수 있습니다.

2. 반도체 제조 중의 초박막 두께 측정

고정밀 및 반복성:

Zeta-20과 같은 KLA의 옵티컬 프로파일러는 ZDot을 사용합니다.™기술, 점진 공초점 방식을 통해 3D 형태 + 리얼 컬러 스캔을 실현하고, Z축 해상도는 나노미터급에 도달한다.이런 고정밀도와 중복성은 반도체업종의 막두께측정에 대한 엄격한 요구를 만족시킬수 있다.

비접촉 측정:

KLA의 광학 프로파일러는 비접촉식 측정 방식을 채택하여 접촉식 측정으로 인한 손상과 오차를 피할 수 있다.이는 반도체 제조에서 취약한 박막 구조에 특히 중요하다.

다기능성:

KLA의 광학 프로파일러는 필름 두께 측정 기능뿐만 아니라 굴절률, 반사율, 투과율 등의 매개변수를 측정해 다양한 측정 수요를 충족한다.예를 들어, Zeta-20 옵티컬 프로파일러는 나노미터에서 밀리미터 단계까지 측정을 지원하며 샘플의 균일성을 결정하기 위해 샘플의 박막 두께 분포도를 그릴 수 있습니다.

손쉬운 운영 및 유지 관리:

　　KLA의 옵티컬 프로파일러일반적으로 편리한 사용자 인터페이스와 자동화된 측정 기능을 통해 운영 및 유지 관리가 용이합니다.이것은 조작의 난이도를 낮추고 측정 효율을 높이는 데 도움이 된다.