1. 머리말:

포토레지스트는 칩 제조 공정의 40% 를 차지하는 집적회로 (IC) 제조의 핵심 공정입니다.

50% 의 시간.광각 과정 중에는 광각기뿐만 아니라 일종의 핵심 재료인 광각 접착제도 필요하다.포토레지스트는 반도체산업의 가장 관건적인 재료중의 하나로서 전반 집적회로제조과정에서 포토레지스트는 전반 칩제조원가의 약 35% 를 차지하며 반도체제조에서 가장 핵심적인 공정이다.

포토레지스트는 구성이 복잡한 혼합물로 주로 유기용매, 고분자수지, 광산제(PAG), 보조제로 구성된다.그 중 광산제는 포토레지스트의 핵심 성분으로 포토레지스트의 감광도, 해상도에 결정적인 역할을 한다.광산제의 순도 및 불순물 제어는 포토레지스트 및 전체 반도체 제품의 양률에 중요한 영향을 미친다.광산제는 흔히 트리페닐기황의 양이온부분 및 다불화황산뿌리의 음이온부분으로 구성되는데 음이온부분은 기본적으로 자외흡수가 없으며 전기안개식검측기 (CAD) 는 화합물에 의존하지 않고 광학활성을 갖고있어 광산제의 질을 통제하는 리상적인 검측기로 될수 있다.

이 응용은 삼불화 부틸 술폰산 뿌리를 예로 들어 광산제에 대한 CAD의 품질 제어 타당성을 탐구한다.

스프레이 검출기 (charged aerosol detector, CAD) 는 최근 몇 년 동안 개발된 새로운 범용 검출기로, 측정된 물질의 분자 구조와 무관하며, 측정된 물질도 이온화될 필요가 없으며, 측정된 물질이 반휘발성 또는 비휘발성 화합물에 속하는 한 CAD 검출을 사용할 수 있다.동시에,

CAD는 측정된 물질의 응답 값 크기가 측정된 샘플의 절대 품질에 의해 결정되는 품질 민감성 검사기로서, 측정된 샘플의 절대 품질이 일치하는 한, 측정된 응답 값은 기본적으로 동일하며, 낮은 측정 한계와 높은 민감도를 얻을 수 있습니다.

전기안개식검측기 (CAD) 는 영매계기연구개발팀이 다년간의 전심전력연구와 반복실험을 거쳐 이룩한 중대한 과학기술성과이다.이 검측기는 선진적인 전기와 안개화 기술을 채용하여 미량 샘플에 대한 높은 민감도, 높은 정밀도 검측을 실현할 수 있다.

2. 기구와 재료:

기기: Agilent1200 액상 크로마토그래프 + CAD 검출기(잉마이 기기, 모델명: CADetector a1)

시약: 순수한 물 (굴신씨 증류수), 아크릴 (크로마토그래피 순), 메틸산 (분석 순) 샘플: 트리플루오로부틸황산 트리페닐소듐염.

3. 방법과 결과:

3.1 스펙트럼 조건:

크로마토그래피 기둥: InfinityLab Poroshell 120 EC-C18 기둥 온도: 55 ℃ 유속: 0.4 mL/min 샘플링: 5 μL

유동상 A: 0.2% 메틸산 수용액 유동상 B: 아크릴

경도 조건 세척

CAD 조건:

기기 모델: 잉마이 기기 CADetector a1 드리프트 파이프 온도: 40 ℃ 안개 기류: 3L/min 극화 전류: 1 μA 극화 기류: 1L/min

3.2 샘플 제조:

희석제: 메탄올, 메탄올-물(1:1)은 트리플루오로부틸황산 트리페닐소듐염모액 2000µg/mL를 조제하여 순수한 메탄올 용액에 용해한다.메탄올-물(1:1) 용액을 사용하여 모액을 단계별로 희석하여 조제농도는 각각 1, 2, 5, 10,

100 및 1000 µg/mL의 시리즈 용액.

3.3 실험 결과:

3.3.1 방법의 적용성

이 방법 조건 하 에서 음양 이온 보존 시간 이 적당하고, 분리도, 봉형 및 봉 응답 이 모두 양호하다

3.3.2 방법의 민감도

1 µg/mL 샘플, 샘플 5 μL;트리페닐기황은 응답이 양호하고 신호 소음비가 1097.4 (ASTM법) 에 달한다;트리플루오로부틸 술폰산 뿌리의 호응이 양호하고 신호 소음비 122.9(ASTM법)

3.3.3 반복성

연속 6핀 중복성, 트리페닐기 황봉 면적 RSD% 는 0.880;삼불화 부틸 술폰산 근봉 면적

RSD% 는 1.222% 로 모두 2.0% 미만으로 이 방법의 중복성이 양호함을 나타낸다.

3.3.4 선형

1~1000 µg/mL 농도, 트리페닐황 상관계수 R은 0.99995;트리플루오로부틸 술폰산 뿌리 상관계수 R은 0.99976으로 선형이 양호하고 선형 범위가 넓다.

4、실험 결론:

이 글은 HPLC-CAD 방법으로 광산제 샘플의 음이온을 분석한다.이 방안은 민감도가 높고 이온분리도 및 중복성이 좋으며 선형범위가 넓어 광산제의 평가방법으로 사용할수 있다.

HPLC-CAD법은 조작이 간단하고 전문속성이 강하며 민감도가 높아 광산제의 품질통제와 방법으로 평가할수 있다.