렌즈 액체 전기 화학 원위 시스템투과렌즈(TEM) 기술과 액체 전기화학 테스트 환경을 통합한 장비다.

본사 제공렌즈 액체 전기 화학 원위 시스템다음과 같은 기술이 있습니다.

1. 납류제어기술을 채용하여 압전마이크로제어시스템을 통해 유체미분제어를 진행하여 납승격미량유체수송을 실현하고 제자리납류제어시스템 및 견본봉중의 중복된 액체량은 마이크로승급만 있어 전경의 안전을 효과적으로 보장한다.

2. 고분자 막면 접촉 밀봉 기술을 사용하여 o권 밀봉에 비해 밀봉 접촉 면적을 확대하고 누출 위험을 효과적으로 줄인다.

3. 초고온 도금 기술을 채용하여 칩 윈도우 구역의 질소화 실리콘 막은 고온 저응력 내압 내부식 내투사 등 장점을 가지고 있다.

4. 다중 결합 기술은 액상 환경에서 광, 전기, 열, 유체 다중 결합을 실현할 수 있다.

이 시스템의 칩 패키지는 키보드 내봉 및 에폭시 수지 외봉 이중 보험 방식을 채택하여 칩 사이의 메자닌이 가장 얇은 것은 약 100~200nm에 불과하며, 초박형 메자닌은 전자빔에 대한 간섭을 대폭 줄이고, 샘플의 원자 배열 상황을 선명하게 관찰할 수 있으며, 액상 환경은 원자급 분별을 실현할 수 있다.