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600°C 고온에서 구리 나노기둥 역학 압축 실험



구리 나노기둥 압축 실험 역학 곡선

모양 크기가 작거나 조작 척도가 극히 작은 것을 특징으로 하는 마이크로 전기 시스템 (MEMS) 은 점점 더 사람들의 높은 중시를 받고 있으며, 척도가 100 μm 체급 이하인 샘플에 대해서는 일반적인 스트레칭과 압축 시험에 일련의 어려움을 초래할 수 있다.나노 압축 실험은 재료 표면의 국부 부피 내에서 아주 작은 압력만 발생하기 때문에 점차 마이크로/나노 척도 역학적 특성 측정의 주요 작업 방식이 되고 있다.따라서 마이크로나노미터 척도에서 재료의 변형 행위에 대한 실험 연구가 필요하다.단결정면 심립방 재료의 마이크로나노미터 척도에서 변형하는 행위를 연구하기 위해 나노압축 실험을 주요 수단으로 구리 나노기둥의 초기 가소성 변형 행위와 결정체 결함이 단결정 구리의 초기 가소성 변형에 미치는 영향을 분석한 결과 구리기둥이 나노압축 과정에서 더 큰 탄성 변형을 나타냈다는 것을 알 수 있다.아울러 압축 주변 재료가 돌출되는 원인과 영향을 분석한 결과 구리 나노기둥이 압축될 때 주변 재료의 돌출로 나노경도와 측정된 탄성 계량값이 큰 편이라고 판단했다.표면 형상의 불균등성이 구리 나노기둥의 초기 가소성 변형 행위에 미치는 영향을 연구하기 위해 가열하는 방법으로 구리 나노기둥 표면에 나노급의 표면 결함을 제조하고 표면 결함의 나노압축 실험 데이터를 비교 분석한 결과 표면 결함의 존재가 구리 나노기둥의 초기 가소성 변형에 큰 영향을 미칠 수 있음을 알 수 있다.투과전자현미경을 통해 구리나노기둥의 압축점 주위의 위치착오형태를 관찰하였는데 나노압축주위에서 생성된 위치착오를 관찰하였을뿐만아니라 층착오, 부전위치착오 및 위치착오환의 공존도 발견되였는데 그 결과 구리나노기둥의 초기가소성변형은 위치착오의 발생과 밀접한 련계가 있다는것을 보여주었다.