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전자급 순수한 물의 총 유기탄소 (TOC) 함량이 중요한 이유는 무엇입니까?TOC는 수중의 총 유기물 함량을 측정하는 지표로, 수중 용해성과 부유성 유기오염물의 총량을 반영한다.전자제품 제조 과정에서 미량의 유기물이라도 제품 성능에 재앙적인 영향을 미칠 수 있다.예를 들어, 유기물은 웨이퍼 표면에 잔류를 형성하여 회로 단락, 부품 성능 저하 또는 무력화를 초래할 수 있습니다.이밖에 유기물은 또 미생물이 자생하는 온상으로 되여 생산환경을 한층 더 오염시킬수 있다.따라서 전자급 순수한 물의 TOC 함량을 엄격히 통제하는 것이 전자제품의 품질과 생산 양률을 확보하는 관건이다.
| 등급 | 총 유기탄소 TOC 기준(μg/L) |
| EW-EW-EW-EW | ≤20 |
| EW-II는 | ≤100 |
| EW-EW-III | ≤200 |
| EW-EW-IV | ≤1000 |
상술한 데이터에서 볼 수 있듯이, EW-Ⅰ급은 TOC에 대한 요구가 가장 가혹하며, 그 함량은 20μg/L 이하로 통제해야 하는데, 이는 주로 수질에 대한 요구가 가장 높은 집적회로 제조 등 분야에 응용된다.등급이 낮아짐에 따라 TOC의 허용 함량은 점차 완화되어 생산 단계별 수질 차별화 수요에 적응한다.이러한 기준은 전자급 순수한 물의 생산을 지도할 뿐만 아니라 TOC 검사에 명확한 계량화 목표를 제공한다.
일반적인 TOC 검사 방법은 무엇입니까?TOC 검사 방법에는 위의 산화-비분산 적외선법 외에도 고온 연소 산화법, 자외선 산화법 등이 포함됩니다.고온연소산화법은 물 시료를 고온로(통상 900°C 이상)에 주입해 유기물을 이산화탄소로 빠르게 산화시키는 것이다.자외선 산화 법칙은 자외선의 광화학 작용을 이용해 화학 시약을 첨가하지 않고 유기물을 산화시킨다.어떤 검측 방법을 선택하는지는 종종 물 샘플의 특성, 검측 정밀도 요구 및 측정 기구의 기능에 달려 있다.예를 들어, 온라인 TOC 분석기는 일반적으로 자외선 촉매 산화 기술을 사용하여 정밀 미량 자동 샘플링 모듈과 협력하여 외부에 촉매나 가스를 첨가할 필요가 없는 효율적이고 연속적인 모니터링을 실현한다.
수질미량총유기탄소(TOC) 분석기기는 수중의 유기오염물질 총량을 정확하게 측정하기 위한 고감도 측정장비다.서안승윤환경보호과학기술집단이 내놓은ERUN-SP3-J3 TOC 분석기TOC 농도가 1ppm (즉, 1000μg/L) 이하인 초순수 장면을 위해 설계되었으며, 검출 한도가 1ppb (0.1μg/L) 에 달하며, 총유기탄소 (TOC), 총탄소 (TC), 총무기탄소 (TIC) 및 불수 없는 유기탄소 (NPOC) 를 동시에 검출할 수 있으며, 제약용수, 전자급 순수, 실험실 및 식수 품질 제어에 널리 응용된다.
