업계 과제

초순수 (UPW) 생산의 일관성은 마이크로 전자 제조에 필수적이며 제품 품질을 보호하는 데 도움이됩니다.기본적인 초순수 모니터링 외에도 추세에서 벗어난 결과에 어떻게 신속하게 대응하고 효과적인 고장 조사와 과정 제어를 할 것인가에 대해서도 마이크로전자 공장은 도전에 직면해 있다.기타 관심 분야에는 공정 성능 개선과 대량 생산을 위한 화학품 순도 확보, 폐수와 회수 모니터링이 포함된다.

마이크로 전자 제조업체는 다음과 같은 다양한 종류의 유기 오염 물질을 생산하고 있습니다.

　　●급수 및 고순도 공정 화학품 중 낮은 ppm급 농도

　　●최종 광택 전 ppt급 농도

　　●회수 및 폐수 응용 중 복잡한 샘플 기질

　　●실리콘 등 유해 미세먼지의 핵심 수요를 모니터링하다

　　솔루션

Sievers 총 유기탄소(TOC) 분석기와 초순수(UPW) 붕소 분석기로 윌리야는 마이크로전자 제조 공정의 모든 단계에 적합한 분석 솔루션을 제공할 수 있다.Sievers TOC 분석기는 광범위한 분석 범위와 응용 프로그램의 다기능성을 고려하여 초순수, 공정 화학품 순도, 회수 및 폐수 처리 모니터링에 사용될 수 있습니다.이산화규소에 앞서 붕소가 먼저 수지침대에서 유출되기 때문에 Sievers 초순수 붕소 분석기는 붕소 농도 상승을 측정하여 이산화규소의 제어와 수지침대의 관리를 실현할 수 있다.

　　포괄적이고 유연한 모니터링 옵션

저농도 마이크로일렉트로닉스 애플리케이션에서 TOC를 모니터링하는 데 자주 사용되는 두 가지 감지 기술인 멤브레인 전도도(Membrane Conductometric)와 직접 전도도(Direct Conductometric)가 있다.Sievers의 제품은 이 두 가지 기술을 포함하고 있으며, 더 복잡한 기질 (예: 공정 화학품 및 폐수) 에 적합한 습화학 산화법을 제공합니다.

다음과 같은 장비와 제품을 제공할 수 있습니다.

　　●Sievers M9e, M500e 및 500 Rle TOC 분석기는 Sievers 필름 전도도 측정 기술을 사용합니다.

◆ Sievers 막 전도도 기술은 대부분의 초순수 시스템에 존재하는 할로겐 유기물과 아민으로 인한 가양성과 가음성을 제거한다

　　●Sievers CheckPointe TOC 센서는 직접 전도도 감지 기술을 사용합니다.

　　 ◆비핵심 초순수 측정 지점에 적합한 경제적인 옵션 제공

　　 ◆신속한 진단 및 문제 해결을 위한 도구

　　●Sievers InnovOx TOC 분석기는 비색산 적외선(NDIR) 감지 및 초임계 수산화(SCWO) 기술을 사용합니다.

　　 ◆농산, 알칼리 및 순수 화학 물질의 흔적 유기물을 정확하고 안정적으로 검출 할 수 있습니다.

　　 ◆폐수와 최대 30% 의 할로겐 측정 가능

　애플리케이션 요구 사항 및 Sievers 솔루션

　　급수, 초순수 및 회수 시스템 모니터링

Sievers M9e 온라인 및 휴대용 TOC 분석기는 가장 복잡한 물 시스템 및 어플리케이션을 위해 설계되었습니다.이 분석기의 분석 범위는 0.03ppb~50ppm이며, 필름 전도도 기술을 사용하여 시스템 급수, 반침투 산수, 최종 산수의 TOC 농도를 정확하게 측정한다.옵션으로 제공되는 Turbo 모드를 사용하여 4초의 분석 시간을 제공하는 SieversM9e 분석기는 회수 감지에 이상적인 문제 해결 도구입니다.

Sievers M9e 구현:

　　●계기와 계기 사이의 일치

　　●저TOC 초순수 응용에서 저농도 측정의 안정성

　　●교정, 검증 및 데이터 분석과 같은 자동화된 작업

　　●12개월 교정 안정기

　　●초순수 수준의 정확도와 정밀도를 위한 고급 자동 튜닝

　화학품 및 폐수 순도

공정성능 실현과 양산 최적화를 위해서는 과산화수소, 수산화나트륨, 수산화암모늄, 황산 및 기타 식각/도금화학품 등 공정화학품에서 TOC를 통제하는 것이 중요하다.Sievers InnovOx TOC 분석기는 이러한 모니터링과 폐수 및 회수에서 유기물 모니터링에 매우 적합합니다.

Sievers InnovOx는 다음과 같은 이점을 제공합니다.

● 보다 현명한 규정 준수 및 처리 의사 결정

　　●실시간 직접 탄소 측정을 제공하여 간접적인 산소 요구량 측정과 선명한 대조를 이룰 수 있다

　　●초임계 수산화(SCWO) 기술로 복잡한 기질 처리

Sievers 분석기 및 마이크로 전자 제조에서의 응용 프로그램 요약

　　참고문헌

1.Godec, 리처드 D., "모니터링 및 통제 UPW 유기 질소 오염 침투 광판 공정 통제 개선하기 위해."ULTRAPURE 물 회의, 포틀랜드, OR, 2011 년 11 월, 높은 오크 출판, Inc.에서 발표.

2.Godec, Richard D.,”자동화된 표준 추가 장치를 사용하여 초순수한 물 TOC 분석기의 성능 비교.Semiconductor Pure Water and Chemical Conference, 2000 Proceedings에 의해 발표되고 저작권이 보호되어 있습니다.

3.Dunn R., "새로운 분석 기술은 피드, 증기 및 응축물 시스템에서 실리카의 제거를 촉진합니다."