개요

전 세계의 수많은 반도체 초순수(UPW, Ultrapure Water) 시스템은 오염물질을 제거할 때 전기제염(EDI, Electrodeionization)이 없어서는 안 될 중요한 공정 절차이다.EDI 기술은 이온교환(IX, Ion Exchange) 수지, 이온침투막과 높은 전위를 이용해 초순수 수중의 이온오염물질을 지속적으로 제거하는 동시에 EDI 모듈에서 가용수지를 재생한다.출수에 대한 실시간 온라인 모니터링으로 초순수 품질 확보, EDI 전압 정확한 제어, 공장 운영 효율 극대화가 가능하다.EDI 모듈에 전압을 가하면 극성 전장이 생겨 이온이 교환수지층과 이온침투막을 통과하게 된다.EDI 모듈의 이온 교환층에서 수지는 이온을 포획하여 이온이 함유되지 않은 초순수를 생성하는 동시에 전위가 지속적으로 사용 가능한 수지를 재생한다.따라서 EDI 시스템은 일상적인 작동에서 많은 전력을 소비해야 합니다.

EDI 출수 실시간 모니터링

우리는 EDI 성능을 연구할 때 정확한 온라인형 공정 모니터링 기기를 사용하여 EDI 출력의 다른 설정이 EDI 출수 중의 붕소, 실리콘, 전도율 값에 미치는 영향 1을 실시간으로 표징했다.연구에 따르면 높은 전력 설정은 붕소와 실리콘을 더 효과적으로 제거 할 수 있습니다.그러나 EDI 전압은 이온 형태의 이산화탄소 용해를 촉진하기 때문에 EDI 전압은 초순수의 순전도율 값을 높인다.

과도한 EDI 전력은 에너지 비용을 증가시키는 것 외에도 초순수 품질을 낮출 수 있습니다.따라서 EDI 시스템의 최적 전력 설정을 결정하는 것은 초순수 품질을 보장하고 공장 운영 비용을 절감하는 데 필수적입니다.

전반적으로 EDI 출수 품질은 급수 품질, 수지 효율, EDI 출력에 달려 있다.시간이 지남에 따라 물 속의 오염물 함량과 수지 효율이 변하기 때문에 EDI 출력을 최적으로 조절해야만 공정 성능과 수질을 안정적으로 유지할 수 있다.EDI 전력 설정을 올바르게 제어하려면 사용자가 에너지 소비량과 운영 비용에서 최상의 효과를 얻을 수 있도록 EDI 출수 중 오염 물질을 모니터링하는 것이 중요합니다.

이 연구에서 반도체 공장은 핵심 오염물질의 농도와 전체 초순수 질량을 추적하기 위해 Sievers 온라인형 초순수(UPW) 붕소 분석기를 사용하여 EDI 출수 중 동적 붕소 농도를 지속적으로 모니터링했다.모니터링 데이터에 따르면 EDI 출력은 물의 순도와 상관이 있으며 전압이 변경된 후 오염물 농도가 안정되려면 일주일 이상이 걸립니다.반도체 공장은 오염물질 제거 효율을 제어하고 실시간 온라인 모니터링을 통해 EDI 출력을 꾸준히 조정해 공장 운영 에너지 소비량을 최소화했다.

Sievers Boron Ultra 온라인형 초순수(UPW) 붕소 분석기

Sievers Boron Ultra 온라인형 초순수 붕소 분석기는 현재 초순수 품질 관리의 가장 중요한 기초 설비이다.이 분석기는 실시간 검측 기능을 제공하여 생산 공장이 자발적으로 이온 교환 공정을 관리하고 이온 오염 사건을 예방하며 하류 공정을 보호하고 제품 생산량을 높일 수 있도록 돕는다.이 분석기는 첨단 기술을 사용하여 사용자가 더 정확한 공정 결정을 내리고 최상의 수질과 공정 효율을 확보할 수 있도록 도와줍니다.