순수 분무기는 액체 상태의 물을 마이크로미터급 물안개로 전환하는 핵심 설비로서, 그 조작 규범은 설비의 수명, 테스트 정밀도 및 환경 안전과 직결된다.

순수 분무기 유지 보수 체계: 등급별 관리 전략:

1.일상 유지 보수는"5 차 검사 제도"를 수행해야합니다: 전원 코드 절연층 검사, 발연관 밀봉 코일 검사, 수위 센서 검사, 안개 스프레이 검사, 배수 밸브 검사.일주일에 한 번 깊이 청소를 해야 하며, 안개실을 분해한 후 1: 3 백초 수용액에 30분 동안 담그면 98% 이상의 물때 퇴적을 제거할 수 있다.

2.분기 정비는 초음파 진자 성능을 중점적으로 검사해야 한다레이저 입도 분석기를 사용하여 안개화 입경 분포를 측정하고, D50 값이 설정치 ± 15% 에서 벗어날 경우 진자 부품을 교체해야 한다.500시간마다 회로기판을 먼지 제거 처리하고 압축 공기 탱크를 사용하여 0.2MPa 압력으로 방열 지느러미 간격을 청소합니다.

3.연례 점검 수리는 전문 기관에 위탁하여 진행해야 한다, 검사 항목은 절연 저항 테스트 (≥ 50M), 접지 저항 테스트 (≤ 0.1), 발연 균일성 테스트 (변이 계수 CV ≤ 5%) 를 포함한다.

순수 분무기 안전 조작 규범: 위험 예방 통제 요점:

1.전기 안전 방면에서,"1기 1브레이크"원칙을 엄격히 준수하고, 기타 고출력 설비와 콘센트의 공용을 금지해야 한다.설비 외피 접지 저항은 정기적으로 검사해야 하며, 접지선이 끊어지거나 접촉이 불량할 때 설비 운행에서 발생하는 정전기는 고농도 물안개 (독성은 없지만 산소 함유량이 높다) 를 유발할 수 있다.

2. 환경안전의 경우 반도체 클린룸에서 사용할 때 물안개 입자가 포토레지스트 등 민감한 재료에 오염되지 않는지 확인해야 한다.테스트 전 호환성 실험을 하고 물안개를 시료 표면에 뿌린 지 24시간 뒤 현미경을 이용해 부식 흔적이 나타나는지 관찰해야 한다.

3.조작 안전 방면에서, 설비 운행 과정 중 안개 스프레이를 만지는 것을 금지하며, 그 표면 온도는 60-70 ℃ 에 달하며, 저온 화상을 초래할 수 있다.장치를 이동할 때는 먼저 물탱크를 비워야 하는데, 4리터의 관성 충격으로 본체가 떨어져 손상될 수 있다.발연량이 갑자기 떨어졌을 때 즉시 정지하여 검사해야 하며 강행운행은 초음파진자가 깨지고 튀는 도자기파편이 고속투과성을 띠게 될수 있다.