데스크톱식 자동막후계의 핵심은 물리 또는 광학 방법을 통해 막층과 기저의 특성 차이를 측정하여 막두께 값을 자동으로 계산하고 출력하는 것이다. 서로 다른 원리와 기종은 서로 다른 막층 장면에 적합하다. 다음은 가장 흔히 볼 수 있는 3가지 작업 원리를 간단히 소개한다.
1. 접촉식(기계탐침법)
이것은 가장 기초적인 원리다.기기의 고정밀 탐침은 시료 표면에 천천히 접촉하여 기저에서 막층 위로 이동하며, 탐침으로 감지된 고도차를 통해 막층의 실제 두께를 직접 측정한다.정밀도가 높아 금속막, 코팅과 같은 두꺼운 막에 적합하지만 시료 표면을 약간 손상시킬 수 있다는 장점이 있습니다.
2. 광학식(반사/굴절법)
빛의 반사나 간섭 특성을 이용하여 작업하는 것도 데스크톱에서 매우 자주 사용하는 유형이다.광선이 막층 표면을 비추면 막층 상표면 반사와 막층과 기저 계면 반사가 동시에 발생하며 두 묶음의 반사광은 간섭 줄무늬를 생성한다.기기는 간섭 줄무늬의 간격, 강도 등 파라미터를 분석하여 막층의 광학 굴절률을 결합하여 자동으로 막의 두께를 계산한다.광학 필름, 반도체 필름과 같은 필름에 적합하며 비접촉식은 샘플을 손상시키지 않습니다.
3. 와류감응법
주로 전도성 막층 (예: 금속막) 을 대상으로 한다.계기의 프로브는 교변자기장을 산생하는데 자기장이 전도막층에 접근할 때 막층내에 와류가 생기고 와류는 또 반대로 프로브의 자기장강도에 영향을 준다.막의 두께가 다르고 와류의 강도도 다르므로 계기는 자기장의 변화량을 검측하여 자동적으로 막층의 두께를 환산해낸다.금속 필름, 전도성 코팅의 빠른 감지에 적합하며 비접촉적이고 효율적입니다.