00 레벨 대리석 플랫폼은 측정 결과의 정확성을 보장하는 데 주로 사용되는 고정밀 측정 및 측정을 위한 벤치마크 도구입니다.
주요 용도: 실험실 정밀 측정: 삼좌표 측정기, 광학 플랫폼 등 고정밀 설비의 작업대로서 안정적인 측정 기준면을 제공하여 실험 데이터의 신뢰성을 보장한다.
공업검측 및 품질제어: 계기계기, 정밀공구, 기계부품의 검사교정에 사용되며 가공정밀도가 표준에 부합되도록 확보한다.
고정밀 공정 분야: 반도체 제조, 광학 소자 연마 등 공정에서 진동 방지, 변형 방지 작업 플랫폼을 제공하여 가공 정밀도를 보장한다.
장면을 적용하려면 다음과 같이 하십시오.
정밀 기계 가공: 선반 작업대, 레일 설치 면의 평면도 검사에 사용되며 설비의 가공 정밀도를 확보한다.
사례: 모 항공부품기업은 00급 플랫폼을 채용하여 5축가공센터 침대의 몸체를 검측하여 조립오차를 0.02mm에서 0.005mm로 낮추었다.
광학 측정: 광학 소자 (렌즈, 프리즘) 의 검측 기준면으로서 간섭기와 함께 사용한다.
사례: 모 광학기계공장은 00급 플랫폼을 리용하여 레이자간섭기를 교정하여 측정중복성을 0.5μm에서 0.2μm로 제고시켰다.
반도체 제조: 웨이퍼 절단, 포토레지스트 작업대에 사용되는 평면도 교정.
사례: 모 12인치 웨이퍼 공장은 00급 플랫폼 검측 광각기 작업대를 사용하여 세트 각도를 3nm에서 1.5nm로 향상시켰다.
계량 측정: 측정 정확성을 보장하기 위해 측정 도구 (킬로미터, 백분율) 의 교정 기준으로 사용됩니다.
사례: 모 계량원은 00급 플랫폼을 사용하여 3좌표측정기를 교정하여 측정불확정도를 (1+L/300)μm에서 (0.8+L/500)μm (L는 측정길이, 단위: mm) 으로 낮추었다.
일상적인 청소:
먼지 없는 천을 사용하여 이소프로필알코올을 묻혀 닦아내고, 입자가 함유된 세정제를 사용하지 않도록 한다.
금기: 산, 알칼리류 부식성 액체의 사용을 엄금하여 표면의 손상을 방지한다.