삼원촉매기와 그 촉매는 대부분 백금 (Pt), 팔라듐 (Pd), 로듐 (Rh) 등 희귀금속으로 만들어져 가격이 비싸다.XRF는 삼원촉매기의 백금, 팔라듐, 로듐 등의 원소를 정확하게 측정하는 데 사용될 수 있으며, 현장에서 재료 성분 분석 정보를 빠르게 제공하여 정밀도가 높고 속도가 빠르며 손상이 없다는 장점이 있다.