태양광과 반도체산업이 고속으로 발전하는 현재 단결정규소는 핵심기초재료로서 그 제조설비의 성능은 재료품질과 생산효률을 직접 결정한다.단결정규소로 (전자동 직라단결정생장로) 는 단결정규소제조의 관건설비로서 질소, 아르곤 등 타성기체환경에서 다결정규소원료를 1450 ℃ 이상의 고온에서 용해하고 직라법을 통해 어긋나지 않는 단결정규소봉을 육성하여 집성전로, 태양에네르기전지, 광전기부품 등 분야에 널리 응용해야 한다.난로 내 가스 환경의 정확한 통제를 실현하려면 가스 품질 유량 컨트롤러 (MFC) 가 단결정 실리콘 난로의 안정적인 운행의 핵심 부품이 되었고, 쑤저우 아이토리는 유량 측정 제어 분야의 기술 축적을 깊이 경작하여 출시한 MFC 제품은 이미 단결정 실리콘 난로 제조와 생산 중의 핵심 부대 방안이 되었다.

단결정규소로의 작업환경은 기체류량통제의 정밀도, 안정성에 대한 요구가 가혹하다. 로내수는 2.6kPa 좌우의 진공도를 유지하며 아르곤 등 보호기체의 류량파동은 단결정규소봉의 결정질량에 직접적인 영향을 주고 심지어 결정봉에 결함이 생기게 된다.전통적인 유량 측정 설비는 압력, 온도 변화의 영향을 받기 쉬우므로 빈번하게 파라미터를 수정해야 하는데, 쑤저우 아이토리의 MFC는 이 기술의 병목 현상을 돌파했다-유량 측정과 폐쇄 루프 제어 기능을 겸비하고 고정밀 검측 회로와 유량 조절 밸브를 내장하여 아르곤 가스 압력, 환경 온도 파동 시 자동으로 유량 값을 추적 설정하고 안정을 유지할 수 있으며, 별도의 온압 수정 없이 단결정 실리콘 용광로 내 가스의 환경 일치성을 근본적으로 보장한다.

단결정규소로의 응용장면에 비추어 소주 애탁리가 맞춤형으로 연구개발한 MFC 제품은 자주적으로 연구개발한 류량센서와 자체로 연구한 고정밀도비례밸브를 탑재하여 질소, 아르곤가스, 헬륨가스 등 단결정규소로의 상용타성기체의 측정통제수요에 신축성있게 적응할수 있다.제품의 작업 압차 적응 범위는 0-1 MPa를 커버하며, 측정 거리는 1 mL/min에서 200L/min 사이에 유연하게 선택할 수 있으며, 동시에 풍부한 아날로그 신호, 디지털 신호 통신 방식을 제공하여 단결정 실리콘 난로의 컴퓨터 제어 시스템을 원활하게 도킹할 수 있으며, 유량 데이터의 실시간 전송과 원격 조정을 실현할 수 있다.

기계적적합성에서 소주 애탁리 MFC의 표준련결부품은 이중카드세트, VCR 등 여러가지 인터페이스류형을 지원하며 단결정규소로설비제조업체의 수요에 따라 특수련결부품을 맞춤제작할수 있어 설비집성과 후기유지보수의 난이도를 대폭 낮추었다.단결정규소로외에 이 MFC는 물리기상침적 (PVD) 화학기상침적 (CVD) 설비에서도 마찬가지로 우수한 성과를 거두었으며 고온도적응성, 고정밀도와 고해상도의 측정통제능력으로 반응기체의 류량을 정확하게 통제할수 있어 반도체재료, 광학부품 (레이자결정, 광섬유 등) 의 고순도성장을 조력할수 있다.

태양광 설치량의 지속적인 상승과 반도체 칩 제조 공정의 부단한 업그레이드에 따라 단결정 실리콘 재료의 시장 수요는 폭발적인 성장을 맞이했고, 단결정 실리콘 난로 설비의 기술 업그레이드도 가속기에 들어갔다.쑤저우 아이퉈리는 시종"정확한 측정 제어"를 핵심으로 자체 개발한 유량 감지 기술과 맞춤형 솔루션에 의탁하여 태양광, 반도체 분야의 핵심 설비에 안정적이고 신뢰할 수 있는 기체 유량 제어 지원을 제공하여 단결정 실리콘 제조 산업 사슬의 기술 파트너가 되었다.앞으로 쑤저우 아이퉈리는 신에너지와 반도체 장비의 측정 통제 수요를 지속적으로 깊이 파고들어 제조 장면에 적합한 트래픽 통제 제품을 더 많이 출시하여 국내 장비 산업의 자주화 발전을 도울 것이다.