MFC는(기체질량류량제어기) 기체의 질량류량을 정확하게 측정하고 통제할수 있는 정밀기기로서 그 핵심원리는 열전도 또는 압차측정기술에 기초하여 센서와 제어밸브를 통해 고정밀도, 쾌속응답의 류량조절통제를 실현하며 반도체제조, 화학공업, 제약, 환경감시 등 분야에 널리 응용된다.

　　MFC는애플리케이션:

반도체 제조

화학기상침적(CVD), 식각, 확산 등 공정에서 가스 유량을 정밀하게 제어해 칩 품질을 확보한다.예를 들어, 실리콘과 같은 반응 가스 유량을 제어하여 박막 퇴적의 균일성을 보장합니다.

화학공업생산

반응 조건을 최적화하여 생산 효율을 높이다.예를 들어, 화학 반응 속도와 효율성을 제어하기 위해 반응 물의 양을 제어합니다.

제약업

무균 가스 공급의 정확성과 신뢰성을 보장하다.예를 들어, 약물 또는 가스의 흐름을 제어하고 의료 장비의 정상적인 작동을 보장합니다.

환경 모니터링 및 관리

대기 중의 가스 유량을 실시간으로 모니터링하여 대기 질 평가, 오염원 추적 및 오염 통제를 위한 데이터 지원을 제공합니다.배기가스처리, 공기정화 등 환경보호설비에서 처리과정에서의 기체류량을 정확하게 통제하여 처리효과가 최상에 달하도록 확보해야 한다.

기타 분야

보일러, 분해로의 연료가스 질량 유량 측정 제어;석유 화학 공업, 채유, 횃불 가스 품질 유량 측정;연소로용 공기 질량 유량 측정 제어;식품 가공, 정수장 염소 가스 제어 등.