제9회 국제탄소재료대회, 상해 신국제박람센터 N1, N2, 2개 전시관이 사람들로 북적였다.정밀제조와 신에너지재료 전시구역에서 볼품없어 보이는 회색계기 한대가 많은 전문관중들의 눈길을 끌었다. 그들은 기체질량류량계였다.

탄소재료산업사슬의 정밀제조는 금강석박막침적으로부터 규소탄소음극재료제조에 이르기까지 정확한 기체류량통제는 최종제품의 성능과 품질에 직접적인 영향을 준다.

개막 성황

제9회 국제탄소재료대회 및 산업전람회는 2025년 12월 9일 상해 신국제박람센터에서 개막되였다. 대회는"재료혁신에 의한 산업변혁"을 주제로 50000명이 넘는 전문관중을 유치할것으로 예상된다.

DT 신소재와 중국 초경질 재료망이 공동으로 주최한다.

전시관은 N1 반도체 탄소 재료관, N2 에너지 및 장비 탄소 재료관으로 나뉘어 탄소 재료의 기초 연구에서 산업화 응용에 이르는 전체 체인 전시에 초점을 맞춘다.

현장의 400개 가까운 전시상들가운데는 아이토리전자처럼 정밀제조에 관건적인 측량과 통제기술을 제공하는데 전념하는 기업이 적지 않다.

이탄소 소재로 만든'기체 맥박'

탄소재료산업사슬에서 CVD 금강석의 생장이나 규소탄소음극재료의 제조를 막론하고 기체류량통제는 모두 핵심공정고리이다.

화학 기상 퇴적 (CVD) 은 고품질 금강석 박막을 만드는 핵심 기술이며, 그 중 메탄 등 가스 유량의 정확한 제어는 금강석 막의 결정 품질과 순도에 직접적인 영향을 미친다.

마찬가지로 신에너지 분야에서도 실리콘 탄소 음극 재료 제조 과정에서 실리콘, 아세틸렌 등 공정 기체의 정확한 배합과 동적 제어가 매우 중요하다.

이번 전시회에서 기체류량지능통제시스템은 여러 전시상들이 중점적으로 전시하는 기술방향의 하나로 되였다.이런 종류의 시스템은 가스 유량을 정확하게 통제함으로써 탄소 제품 공정 과정의 일치성과 안정성을 보장한다.

삼애탁리의 기술력

가스 흐름 제어 분야에서 아이토리는 MFC300, MFC330, MFC350부터 MFC600까지 다양한 계열의 가스 품질 유량계 제품을 선보였다.

마이크로 트래픽 시나리오를 위해 특별히 설계된 MFC300 시리즈의 경우 MEMS 트래픽 센서를 사용하고 온도 및 압력 보정 기능을 갖추고 있습니다.측정 정확도는 ±0.5% F.S.에 달하지만 센서 응답 시간은 5ms에 불과합니다.

아이토 유량계의 핵심 장점은 높은 정밀도와 높은 안정성에 있다.MFC600 시리즈의 경우 정확도는 ±0.2%F.S., 선형도는 ±0.1%F.S., 반복 정밀도는 ±0.05%F.S.에 달합니다.

이러한 고정밀 특성은 동적 가스 배기 과정에서 매우 중요하며, 각 그룹 유량의 정확한 제어를 보장하여 최종 혼합 가스 농도의 정확성을 보장할 수 있다.

4 현장 초점 적용

반도체 재료 전시구역에서 아이토리는 확산 공정에서 가스 유량계의 응용 사례를 선보였다.반도체와 태양광 제조업에서 확산로는 정확한 혼합과 박막 성장을 위한 핵심 장비 중 하나다.

아이토리 가스 품질 유량계와 컨트롤러는 공정 가스에 대한 정확한 측정과 제어를 통해 확산 공정의 성패와 제품의 최종 성능을 직접 결정한다.

예를 들어, MFC330 시리즈는 0-5 SCCM 미만의 미세 유량 사양을 제공하여 혼합제 농도와 분포가 까다로운 공정 요구 사항을 충족하는지 확인합니다.

신에너지 재료 제조 지역에서 아이토리는 실리콘 탄소 음극 재료 제조에 대한 솔루션을 선보였다.실리콘 탄소 음극 제조에는 가스유량계에 특별한 요구를 하는 실리콘(SiH₄), 아세틸렌(C₂H₂) 등 고위험 공정가스를 처리해야 한다.

5 업종 추세와 미래 전망

가스 유량 통제는 탄소 재료 산업 사슬에서 중요성이 날로 두드러지고 있다.공업과정이 기체혼합물의 정밀도에 대한 요구가 끊임없이 제고됨에 따라 기체류량계기술도 지속적으로 진보하고있다.

미래 추세가 보여준데 따르면 지능류량계는 원격감시, 예측성유지보수와 자체적응통제를 실현하여 동적기체배기기의 지능화수준을 한층 더 제고시킬수 있다.

에톨릭 유량계 제품군은 아날로그 신호, RS232, RS485, RS422 및 CAN 버스를 포함한 다양한 통신 인터페이스를 제공하여 주요 제어 시스템과 쉽게 통합하고 원격 모니터링 및 자동화 제어를 실현할 수 있으며, 이러한 기능은 미래 지능화 발전 추세에 부합한다.

탄소소재대회는 같은 기간 2025 금강석 연차총회, 탄소섬유장비 제조대회, 신에너지 탄소소재·배터리대회 등 응용단회의도 개최해 반도체, 신에너지, 장비 등 분야에서의 탄소소재의 혁신발전을 심도 있게 논의한다.